Опис на производот

2. Деловите со ниска температура се кварцни прстени во процесот на офорт, вклучувајќи касети, резервоари за чистење во процесот на чистење. Тие главно се користат во средина со ниски температури, кои главно се направени од фузирано кварцно стакло, произведено со ладна обработка.кварцна материјал. Кварцот е широко користен во индустријата за полупроводници, кварцот со висока чистота е важен потрошен материјал во производството на нафора. Главниот целен пазар на кварцни делови во полето на полупроводници е процесот на дифузија и офорт во производството на нафора, може да се подели во две главни категории: делови со висока температура и делови со ниска температура.

1. Високотемпературните делови се цевка од кварцна печка, чамец со нафора, држач за чамци итн. Тие треба директно или индиректно да контактираат со силиконски нафора во средина со висока температура, главно се направени од фузиран кварцен стаклен материјал, произведен преку термичка обработка.

2. Деловите со ниска температура се кварцни прстени во процесот на офорт, вклучувајќи касети, резервоари за чистење во процесот на чистење. Тие главно се користат во средина со ниски температури, кои главно се направени од фузирано кварцно стакло, произведено со ладна обработка.

Компонентите во зоната со висока температура се трошат побрзо, но тие обично се користат во системи со повеќе нафора (еден носач што држи повеќе силиконски наполитанки), додека компонентите во зоната со ниска температура се трошат побавно, но тие се користат во системи со единечна обланда (еден носач држи една силиконска обланда); затоа, вкупната големина на пазарот и за двете е релативно слична.

Печката е област во која обландите се подложени на процес на загревање со висока температура, се состои од кварцна печка, реактор и неколку грејачи, широко се применува во процесите на дифузија, оксидација, RTP при полупроводничка обработка. Печката е главно поделена на хоризонтални и вертикални типови:. Во хоризонтална печка, наполитанките се ставаат на кварцен чамец, кој пак се поставува на носач SiC. Има и адаптивни прегради напред и назад. Носачот се турка во цевката на кварцната печка, а наполитанките се подложени на реакција во зона на константна температура. Во вертикална печка, наполитанките се ставаат на кварцна кула, а потоа полека се подигаат во цевката на кварцната печка за обработка.

Поради високите температури вклучени во горенаведените процеси, за да се спречи тешка деформација и колапс на цевката на кварцната печка по повеќекратна и долготрајна употреба, за време на производството треба да се користи цевка од кварцна печка која е отпорна на деформации и колапс и има долг работен век.

Еве ги предностите накварццевка за печка:

1. Отпорност на високи температури. Кварцното стакло има точка на омекнување од приближно 1730℃ и може да се користи подолг период на 1150℃, со краткорочна максимална температура која достигнува 1450℃.

2. Отпорност на корозија. Освен флуороводородна киселина, кварцот со висока чистота речиси и не реагира хемиски со други кисели материи. На високи температури, може да издржи корозија од сулфурна киселина, азотна киселина, хлороводородна киселина, аква регија, неутрални соли, јаглерод и сулфур. Неговата отпорност на киселина е 30 пати поголема од онаа на керамиката и 150 пати поголема од онаа на не'рѓосувачкиот челик. Неговата хемиска стабилност, особено на високи температури, е неспоредлива со кој било друг инженерски материјал.

3. Добра термичка стабилност. Кварцот со висока чистота има исклучително низок коефициент на термичка експанзија и може да издржи драстични температурни промени. Загревањето на кварцот со висока чистота на околу 1100 ℃ и потоа потопувањето во вода на собна температура нема да предизвика негово распарчување.

4. Добри перформанси за пренос на светлина. Кварцот со висока чистота има добри перформанси за пренос на светлина низ целиот спектар од ултравиолетови до инфрацрвени зраци. Пропустливоста на видливата светлина е над 93%, а во ултравиолетовиот спектар максималната пропустливост може да достигне над 80%.

5. Добри перформанси на електрична изолација. Отпорноста на кварцот со висока чистота е десет илјади пати поголема од онаа на обичното кварцен стакло, што го прави одличен материјал за електрична изолација, кој поседува добри електрични својства дури и при високи температури.