Кварцни цевки за дифузија на полупроводници

Кварцни чамциобично се користат во услови на работа со висока температура, сурови хемиска корозија. За време на работата, полупроводничките наполитанки се ставаат во кварцниот чамец и се вметнуваат во кварцната дифузна цевка. Кога цевката за дифузија ќе ја достигне потребната температура (неколку стотици до неколку илјади степени Целзиусови), процесните гасови (на пр., O2, N2, H2, Ar) и допантните гасови (на пр., POCl3, BBr3) се внесуваат во кварцната дифузија за да се изврши дифузија на цевката и да се изврши дифузија на гасови. полупроводнички наполитанки. Дополнително, за да се подобри униформноста и точноста на дифузијата, некои процеси на дифузија треба да се спроведат во средина со низок притисок. 

Во напредните процеси на производство на полупроводници, секоја мала грешка или недостаток во овие процеси може да доведе до неуспех на следните процеси. Затоа, како клучни делови на производството на полупроводници, квалитетот на кварцните цевки за дифузија е значително важен и директно влијае на приносот и перформансите на полупроводничките уреди.

Спецификациите на Semicorex Кварц од полупроводници

Кварцните цевки за дифузија од полупроводници семикорекс се прецизно произведени од висококвалитетникварц од полупроводникматеријал. Следниве се неговите специфични параметри:

Параметрите може да се прилагодат според барањата на клиентите.

Изведбата на Semicorex Semicorex Semiconductor-Grade кварцни дифузни цевки

Потпирајќи се на нашата искусна технологија на обработка и сигурна селекција на материјали, Semicorex полупроводничка класакварцни дифузни цевкипокажете супериорни перформанси под предизвикувачки работни услови:

1. Изведба на отпорност на висока температура

Полупроводничките кварцни цевки за дифузија семикорекс даваат извонреден отпор на висока температура, што им овозможува да работат стабилно во средини со висока температура до 1200 ℃ без никакви деформации или оштетувања.

2. Изведба на термичка стабилност

Со исклучителен коефициент на термичка експанзија, кварцните цевки за дифузија од полупроводник Semicorex можат да издржат термички стрес при брзо загревање или ладење без лесно пукање или деформирање.

3. Хемиска отпорност перформанси

Полупроводничките кварцни цевки за дифузија Semicorex обезбедуваат супериорна хемиска инертност во високи температури, сурови корозивни средини. Оваа изведба во голема мера ги спречува загадувачите кои се создаваат од нивната реакција со процесните гасови да влијаат на квалитетот на нафората.