Sic обложени нафора на нафта

Посебните подложни нафора на Semicorex SIC се дизајнирани да ги исполнат барањата за притискање за производство на напредни полупроводници, особено во системите за таложење на филмови без ултратин. Прецизно дизајнирани, тие нудат супериорни термички перформанси, хемиска издржливост и механичка стабилност-изобилство за околини од следната генерација за обработка на тенки филмови.

Во техниките на таложење кои не користат притисок, како таложење на атомски слој (ALD), таложење на хемиска пареа (CVD) и таложење на физичко пареа (PVD) за многу тенки филмови, најголемите барања се униформа дистрибуција на температурата и стабилност на површината. Единственоста на нашиот дизајн на подложникот лежи во фактот дека вклучува порозна подлога со висока чистота што му овозможува да работи ефикасно во услови на вакуум или скоро вакуум, со што се намалува термичкиот стрес и обезбедува униформа трансфер на енергија над површината на нафтата.

Мулти-дупката структура е клучна иновација: помага во намалување на термичката маса, промовира дури и дистрибуција на проток на гас и ги ублажува флуктуациите на притисокот што инаку би можеле да ја загрозат униформноста на таложењето. Оваа структура, исто така, придонесува за побрзи термички циклуси на рампа и cooldown, подобрување на целокупната моќност и контрола на процесите.

Ние нудиме голем број на големини на подложништво, геометрии и нивоа на порозност за да одговараат на различни дизајни на системот за таложење и димензии на нафта. Модуларната природа на нашиот процес на производство овозможува прилагодување да ги исполни специфичните термички, механички и хемиски барања на тенок филм на клиентот.

Посебниот нафора на Semicorex SIC е решение со високи перформанси, прилагодено на уникатните предизвици на таложење на филмот без ултратин без притисок. Неговата комбинација на порозен структурен дизајн и стабилна SIC облога обезбедува оптимална поддршка за процесите на производство на полупроводници со висока прецизност, овозможувајќи подобар квалитет на филмот, повисоки приноси и пониски оперативни трошоци.