Рецептор SiC Epi-вафера

Semicorex е голем производител и добавувач на силикон карбид обложен графит сусцептор во Кина. Се фокусираме на полупроводничките индустрии како што се слоевите на силициум карбид и епитаксичните полупроводници. Нашиот SiC Epi-Wafer Susceptor има добра ценовна предност и покрива многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер.

Испрати барање

Опис на производот

Semicorex обезбедува SiC Epi-Wafer Susceptor обложен од MOCVD кој се користи за поддршка на наполитанки. Нивната графитна конструкција обложена со силициум карбид (SiC) со висока чистота обезбедува супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи, и издржлива хемиска отпорност. Финиот SiC кристален слој обезбедува чиста, мазна површина, критична за ракување, бидејќи беспрекорните наполитанки контактираат со сензорот на многу точки низ целата нивна површина.
Нашиот SiC Epi-Wafer Susceptor е дизајниран да ја постигне најдобрата шема на ламинарен проток на гас, обезбедувајќи рамномерност на термичкиот профил. Ова помага да се спречи каква било контаминација или дифузија на нечистотии, обезбедувајќи висококвалитетен епитаксијален раст на чипот на нафора.
Контактирајте не денес за да дознаете повеќе за нашиот SiC Epi-Wafer Susceptor.

Параметри на SiC Epi-Wafer Susceptor

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на SiC Epi-Wafer Susceptor

Графит обложен со SiC со висока чистота
Супериорна отпорност на топлина и топлинска униформност
Фин SiC кристал обложен за мазна површина
Висока издржливост против хемиско чистење
Материјалот е дизајниран така што да не се појавуваат пукнатини и раслојување.