Sic прсти

Semicorex SIC прстите се специјализирани делови чии примарни апликации се во опрема за обработка на полупроводници, конкретно во системите за ракување и поддршка на нафта. Нивната примарна функција е да ги поддржуваат или држат нафораните за време на процесите како што се епитаксијата, јонската имплантација или термичкиот третман, во кој е клучна димензионалната стабилност или чистота, заедно со сигурноста. Силиконскиот карбид комбинира механичка јачина со одлична термичка и хемиска отпорност, а овие карактеристики се неопходни во напредните линии за изработка на полупроводници, така што прстите на SIC се неопходни во ваквите апликации.

Карактеристиката на продажба наСиликон карбидБидејќи материјалот е можноста да се издржат екстремно високите работни температури без да се изгуби механичкиот интегритет. Во полупроводничките процеси, како што е епитаксијалниот раст, нафорите доживуваат зголемени температури одеднаш и над подолги периоди. СИК прстите што некогаш се ангажирани ќе ја одржат својата усогласување и сила во текот на циклусите на висока температура, така што нафорите остануваат на сила, минимизирајќи го движењето за да се избегне деформација или погрешно поставување за да се одржи соодветната процесна униформност за да се постигне прифатлив принос на уредот. SIC прстите обезбедуваат многу подолга услуга од типичните керамички или метални потпори, додека се многу поконзистентни во товарите со висока температура.

Клучна придобивка од прстите на SIC е нивната супериорна хемиска отпорност. Сите апликации за полупроводници вклучуваат реактивни гасови, изложеност на плазми и изложеност на корозивни хемикалии. Кородибилниот или распаѓаниот материјал реагира со ослободување на честички или загадувачи кои можат да го деградираат квалитетот на нафтата.Силикон карбидима хемиски инертен површина што нема да се закачи или реагира на агресивни хемикалии, создавајќи чиста процес на процесирање и значително намален ризик од загадување. Ова додава на издржливоста на алатката за ракување со нафора, директно придонесувајќи за стабилни и повторливи резултати од процесот што е клучно за производство на полупроводнички уреди со висок принос.

Прецизноста е уште едно клучно разгледување во дизајнот на прстот SIC. Ракувањето со нафта вклучува компоненти со екстремно тесни толеранции, микрометрите можат да предизвикаат погрешно поставување на нафта, да го зголемат потенцијалот за кршење на нафтата или да предизвикаат недоследности во процесите. Користејќи ја најновата технологија за машинска и полирање, може да се произведат прсти со највисоки димензионални толеранции и површинска пловност и мазна завршница. Ова гарантира стабилна, релативно инерција бесплатна платформа за поддршка на нафта со намален потенцијал за формирање на честички и повторено работење на апликации за ракување со нафта во автоматска опрема за обработка на полупроводници.

Покрај основните предности на материјалот на прстите на SIC, тие исто така може да се направат специфични за да одговараат на секоја опрема или услов за процеси. Различни големини на нафта, различни дизајни на реактори и различно ракување со операторот бараат специфични изработени решенија. SIC прстите може да се направат во која било геометрија или димензија, а површинскиот третман може да се примени како погоден за специфични апликации.

SIC прстите, исто така, ги намалуваат трошоците за работа, како резултат на нивниот долг корисен живот (намалување на фреквенцијата на замена) и нивните намалени прекини како резултат на неуспех или загадување на таложење од термички или хемиски стрес. Со издржливоста и сигурноста за производителите на полупроводници, користењето на прстите на SIC доведува до зголемено време на време, пониска потрошувачка цена и целокупна подобрена ефикасност на процесот.

Практично, прстите на SIC се користат претежно во реакторите за раст на епитаксијата, бидејќи тие обезбедуваат стабилно држење на нафта за време на екстремни термички и хемиски процеси. Тие исто така се користат во јонски импланти или со висока температура на анеали, каде што е клучна механичка стабилност, како и хемиска инертност. Преку апликации, постојаните перформанси исто така ја прават нивната употреба во ракување со нафора клучна во обезбедувањето на процесот на униформност, интегритетот на нафтата и квалитетот.

Semicorex sic прсти, се силни примери за предностите наСиликонски карбид материјал За висока температура, хемиски отпорни, прецизни инженерски компоненти на полупроводници. Материјалното опкружување на SIC прстите обезбедува стабилност на висока температура, исклучителна хемиска отпорност и можност за производство на стандарди со голема прецизност. Робусна и прилагодлива компонента е клучна за постигнување на стабилно производство и подобрена принос и ефикасност на трошоците за производителите на полупроводници. SIC прстите продолжуваат да бидат напредно и сигурно решение за FAB -овите фокусирани на стабилноста на процесите и обезбедувањето на квалитетот.