SiC процесни цевки

Процесните цевки Semicorex SiC се важни структурни компоненти во оксидацијата, дифузијата, RTA/RTP во процесот на производство на полупроводници. Тоа е генерално цевка со голем дијаметар како простор за реакторска печка, сите хемиски процеси ќе се случат внатре. Така, силата, отпорноста на термички шок се многу основни точки за производот.

Процесните цевки SiC се направени одсинтеруван силициум карбид, може да биде SiSiC, SSiC или RSiC и CVD SiC облогата на површината, што ќе формира слој со ултра висока чистота. Може да го спречи загадувањето со честички, пепел итн. А материјалот има многу висока отпорност на термички удар, така што цевките за процесирање SiC можат да останат стабилни при отпорност на високи температури и да спречат нечистотии да се таложат на високи температури и со тоа да ја загадуваат животната средина.

Овие цевки за процесирање SiC се дизајнирани за употреба во атмосфери со реактивен гас (кислород), заштитен гас (азот) и минимални количини гас водород хлорид и нудат извонредна хемиска отпорност, топлинска стабилност и чистота на материјалот до 1250°C. Цевките Semicorex SiC го комбинираат најсовременото производство на 3D-печатење со облогата со хемиско таложење на пареа (CVD) за да обезбедат супериорни перформанси и животен век при најекстремни термички и хемиски услови.

Цевките Semicorex SiC се произведуваат преку интегриран процес на обликување со 3D печатење, наместо преку конвенционална преса формирана или составена цевка. Овој производствен процес овозможува континуирана, конзистентна структура на керамика без спојници и слаби области, создавајќи висок степен на сложеност и верност на димензиите, што може да ги ублажи концентрациите на стрес додека ја зголемува механичката сила. Дополнително, монолитната структура обезбедува затворање за природен гас, намалувајќи ја контаминацијата и истекувањето при процеси на висока температура.

НаSiCна телото е материјал со ултра ниска нечистотија (< 300 ppm), обезбедувајќи одлична чистота и стабилност на материјалот за реактивни атмосфери. Дополнително, цевката е обложена со слој од силициум карбид CVD (< 5 ppm) за да се подобри отпорноста на корозија и заштитата на површината.

Semicorex обезбедува приспособена услуга, која можеме да ја произведеме според цртежите на клиентите, за да ги исполниме барањата за потребните спецификации. Така, цевките за процесирање Semicorex SiC можат да бидат алтернативно погодни не само за хоризонтални печки, туку и за вертикални печки.