Семикорекс силициум карбид се специјално дизајнирани за опрема за фотолитографија и имаат повеќе предности како што се висока прецизност, ултра мала тежина, висока вкочанетост, низок коефициент на термичка експанзија и одлична отпорност на абење.
Семикорексчаки со силициум карбидсе функционални уреди за адсорпција направени одсилициум карбид(SiC) керамички материјал. Тие главно се користат во полупроводници, фотоволтаици, прецизно производство и други сценарија кои имаат исклучително високи барања за отпорност на високи температури, отпорност на абење, отпорност на хемиска корозија и чистота на материјалите.
SiC керамичкиот материјал има отпорност на високи температури и ја одржува својата структурна стабилност во средини со висока температура. Неговата одлична топлинска спроводливост му овозможува брзо да ја исфрли топлината создадена за време на адсорпцијата, спречувајќи прегревање на работното парче. Исклучителната цврстина на материјалот го прави погоден за фаќање груби или тврди работни парчиња. Покрај тоа, хемиската инертност на керамичкиот материјал SiC го прави отпорен на корозија од силни киселини, силни алкалии и органски растворувачи. Врнежите со ниски нечистотии на овој материјал ја избегнуваат контаминацијата со нечистотии и го продолжуваат нормалното време на работа на опремата, исполнувајќи ги барањата за ултра чисти на полупроводничката индустрија.
Типични карактеристики на чаковите од силикон карбид Semicorex
1. Висока прецизност: плошноста е 0,3-0,5μm.
2.Полирање со огледало
3.Ултра мала тежина
4. Висока вкочанетост
5. Низок коефициент на термичка експанзија
6.Одлична отпорност на абење
Апликација Сценарија на силициум карбид чак
Производство на полупроводници
Пренос и обработка на нафора: во процеси како што се фотолитографија и офорт, обландата треба стабилно да се адсорбира во вакуумска средина за да се избегнат грешки при поместување.
Отпорност на корозија на плазма: Во процесот на полупроводничка офорт, одличната отпорност на корозија може да го продолжи работниот век на производот.
Производство на фотоволтаични ќелии
Сечење со силиконски обланди: Апсорбира силиконски наполитанки за да се спротивстави на вибрациите при сечењето и да ја намали стапката на фрагментација на силиконските наполитанки.
Производство на прецизна оптика и електроника
Обработка на подлога од сафир: Подлогите од сафир што се користат во производството на ЛЕД чипови бараат вакуумска адсорпција. Силата на адсорпција мора да ја надмине тежината на подлогата и да избегне гребење на површината на производот.
Силициум карбид чакчиња станаа клучни потрошни материјали во областа на производството со висока класа поради нивните одлични перформанси, промовирајќи го технолошкиот напредок во индустриите како што се полупроводници, фотоволтаици и рецизивно производство.