Силиконскиот пиедестал Semicorex, често занемарена, но критично важна компонента, игра витална улога во постигнувањето прецизни и повторливи резултати во процесите на дифузија и оксидација на полупроводниците. Специјализираната платформа, на која почиваат силиконските чамци во печки со висока температура, нуди уникатни предности кои директно придонесуваат за зголемена температурна униформност, подобрен квалитет на нафора и на крајот, супериорни перформанси на полупроводнички уреди.**
1. Семикорекс силиконски пиедестал што ја стабилизира околината за обработка за оптимални резултати:
Создавање стабилна основа за кристални чамци:Силиконскиот пиедестал обезбедува цврста и термички стабилна платформа за силиконски чамци во комората на печката со висока температура. Оваа стабилност обезбедува чамците да ја задржат својата положба и ориентација во текот на целиот процес, спречувајќи несакано движење или навалување што може да ја наруши динамиката на протокот на гас и да ја загрози рамномерноста на температурата.
Подобрување на температурната униформност во комората за реакција:Со ефикасно изолирање на силиконскиот брод од подот и ѕидовите на печката, силиконскиот пиедестал ја минимизира загубата на топлина преку спроводливоста и промовира порамномерна распределба на температурата во цевката за термичка реакција. Оваа подобрена способност за управување со топлинска енергија е клучна за постигнување конзистентни и повторливи профили на дифузија или оксидација низ целата површина на обландата.
Зголемување на ефикасноста на изолацијата за оптимизирана употреба на енергија:Вродените термоизолациони својства на силиконскиот пиедестал придонесуваат за енергетски поефикасен процес со минимизирање на загубата на топлина во околината. Ова значи побрзи циклуси на греење и ладење, намалена потрошувачка на енергија и, на крајот, помали вкупни трошоци за обработка.
2. Синергија на материјали за врвен квалитет на нафора:
Соодветна термичка експанзија за намален стрес на нафора:Силиконскиот пиедестал, изработен од истиот силиконски материјал со висока чистота како и самите чамци и наполитанки, нуди клучна предност во однос на алтернативните материјали како кварц или силициум карбид. Оваа материјална синергија осигурува дека постаментот, чамецот и наполитанките се шират и се собираат со речиси идентични стапки за време на циклусите на загревање и ладење, минимизирајќи го ризикот од термички стрес, наведнување на обландите и кристалографски дефекти што може негативно да влијаат на приносот и перформансите на уредот.
Минимизирање на контаминација и несовпаѓање на решетки:Употребата на силициум со висока чистота и за силиконскиот пиедестал и за бродот го елиминира потенцијалот за контаминација од различни материјали, обезбедувајќи чиста средина за обработка на наполитанките. Оваа материјална компатибилност, исто така, го минимизира ризикот од несовпаѓање на решетки на интерфејсот на нафора-чамци, што дополнително придонесува за подобрен квалитет на кристалите и намалена густина на дефекти.