Резервни делови во епитаксијален раст

Резервните делови на Semicorex во епитаксијален раст се апсолутно критични, особено за процеси кои вклучуваат поставување на кварцни цевки. Овие делови се од суштинско значење за олеснување на протокот на гас за да се придвижи ротацијата на основата на фиоката и да се обезбеди прецизна контрола на температурата во текот на процесот на епитаксијален раст. Резервните делови Semicorex во епитаксијален раст, колоквијално познати како полуделови, се прецизно дизајнирани да издржат високи температури и корозивни средини својствени за епитаксиалните комори за раст. Изработени од силициум карбид (SiC), тие нудат исклучителна топлинска и хемиска стабилност, што ги прави идеален избор за такви тешки апликации. Употребата на SiC гарантира дека овие делови се способни да ги издржат дури и најпредизвикувачките услови.

Резервните делови во епитаксијален раст личат на облик на полумесечина, дизајнирани да се вклопат цврсто во склопот на кварцната цевка. Нивната уникатна конфигурација на полумесечина овозможува лесно вметнување и отстранување од системот, олеснувајќи ги процедурите за одржување и замена со ефикасност и прецизност.

Резервните делови во епитаксијален раст служат за повеќе намени. Прво, тие помагаат во контролирана испорака на гасови од суштинско значење за процесот на епитаксијален раст. Со регулирање на брзината на протокот и дистрибуцијата на гасот, тие обезбедуваат рамномерно таложење на полупроводнички материјали на површината на подлогата, што е од клучно значење за постигнување на посакуваните својства на материјалот и перформансите на уредот.

Резервните делови во епитаксијален раст придонесуваат за ротационото движење на основата на фиоката во комората за раст. Оваа ротација е клучна за промовирање рамномерна дистрибуција на депонираните материјали, спречувајќи формирање на неправилности или дефекти во епитаксијалните слоеви.