Тефлон касети

Касетите на Semicorex Teflon се носачи на нафта со високи перформанси кои се специјално дизајнирани за употреба во побарувачки хемиски средини каде што се неопходни чистота, хемиска отпорност и термичка стабилност. Направени од високо-чистота политетрафлуороетилен (PTFE), овие касети се користат во производство на полупроводници, влажно гравирање, хемиско чистење и други апликации каде изложеноста на високо агресивни хемикалии е рутинска. Нивната не-реактивна природа ги прави идеални за ракување со деликатни подлоги како силиконски нафори, стаклени панели и други прецизни компоненти без воведување на загадување или честички во процесот.

Во различни процеси на производство на полупроводници, како што се литографија, гравирање и јонска имплантација, касетите играат улога во транспортот и пренесувањето на нафора помеѓу различни уреди. Различна опрема за процеси може да има различни барања за интерфејс за касети за да се осигури дека превозниците на нафта можат точно да бидат примени и поставени.

Од гледна точка на материјал и дизајн, генерално се користат материјали што се отпорни на топлина, имаат одлични механички својства, димензионална стабилност и се издржливи, анти-статични, ниски излезни, ниски врнежи и рециклирање. Различни големини на нафора, процесни јазли и процеси користат различни материјали. Општите материјали се PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP, итн.

Касетите на тефлон нудат супериорна хемиска отпорност во околини со употреба на хидрофлуорична киселина, азотна киселина, сулфурна киселина и други силни корозиви. За разлика од конвенционалните материјали како полипропилен или не'рѓосувачки челик, PTFE не се деградира; не отекува; Испушта нема супстанции во груби хемиски бањи. Затоа, перформансите се загарантирани во долги периоди и оттука и сигурноста на касетите за линии за производство на голема моќност и ултра-чисти околини. Неговата стабилност значи пониски потреби за одржување и фреквенција на замена, со што се намалуваат долгорочните трошоци за работа.

Касетите од тефлон демонстрираат многу висока термичка стабилност. Тие можат лесно да издржат температури од -200 ° C до +260 ° C, применливи за криогени, како и за процеси на висока температура. Дури и ставени во загреани комори за сушење или ладни хемиски бањи, касетите не ја губат својата структурна јачина; Тие не искривуваат или пукаат, осигурувајќи дека нафорите ќе останат безбедно за време на обработката. Оваа температурна еластичност значително придонесува за контрола и униформност на процесите, кои се клучни за изработка на полупроводници и MEMS.

Подеднакво важна карактеристика на касетите на тефлон е нејзината инертен, нелеплива површина. PTFE инхерентно не дозволува адсорпција на честички и хемиски остатоци, со што се намалуваат ризиците од загадување во околини за чистење простории. Ова мора да биде во комбинација со мазна завршница на површината што овозможува лесно плакнење и брзо сушење, со што резултатите од почистата и побрзите времиња на циклусот резултираат. Во обработката на полупроводници, каде дефектите можат да бидат предизвикани од дури и микроскопски загадувачи, ова чистота и ниво на хемиска инерција е задолжително.

Секоја касета е прецизно направена на толеранции на тесни големина, гарантирајќи трајно усогласување и растојание додека се преместува и се става во течност. Нивната лесно дизајнирана форма им помага на брз хемиски проток и дренажа, што ги забрзува хемиските курсеви и ја подобрува униформноста на чистење или гравирање на површината на нафтата.  Касетите се достапни во стандардни големини за 4-инчни, 6-инчни и 8-инчни нафори, со опции за прилагодување достапни за да одговараат на специфични димензии на подлогата, броење на слотови и барања за ракување.

Наменето за компатибилност со автоматски влажни клупи и роботски системи за ракување со нафора, тефлон -касетите лесно се интегрираат во повеќето поставувања за производство на полупроводници. Нивната стабилна завршница и завршувањето на просторијата за чистење ги исполнуваат строгите барања на ISO-овластените средини. Сите касети се подложени на темелна инспекција и се претходно исчистени во ултра-чиста вода за да се исполнат стандардите за чистота потребни за напредно производство на микроелектроника. Може да се обезбедат сертификати за сообразност и целосна следливост на материјалот за да се обезбеди усогласеност со протоколите за обезбедување на квалитет.