Вертикални кварцни чамци со нафора

Во процесите на производство на полупроводници, полупроводничките компоненти во комората за реакција мора да исполнуваат строги стандарди за висока чистота. Во спротивно, дури и нечистотиите или загадувачите од микро или нано размери може да предизвикаат неповратно оштетување на перформансите и издашноста на полупроводничките уреди.

Кварцни чамци со нафоравообичаено се инсталираат вертикално во комори за реакција на висока температура како што се дифузни печки, печки за оксидација и печки за жарење, каде што треба да бидат во директен контакт со наполитанките. Вертикалните кварцни нафора чамци на Semicorex се произведени од кварцни материјали со висока чистота за да ги задоволат овие барања за висока чистота. Овој мудар избор на материјали ефикасно ја избегнува контаминацијата на нафора предизвикана од реактантите ослободени од чамците со нафора за време на процесот на производство.

Во производството на полупроводници, од нафораните чамци се бара не само да се подложат на повторени циклуси на греење-ладење, туку и да ја издржат корозијата на процесните гасови во текот на подолго време. Вертикален кварц на Semicorexнафорачамците покажуваат исклучителна димензионална стабилност во предизвикувачките работни услови на постојан термички циклус поради нивната вродена термичка стабилност. Овие супериорни термички својства значително ја спречуваат деформацијата на обландата и оштетувањето предизвикано од прецизна деградација или структурна деформација на вертикалните кварцни нафора. Уште повеќе, благодарение на нивната висока хемиска инертност, вертикалните кварцни нафора можат да бидат отпорни на реакција со корозивни гасови како кислород, водена пареа, водород хлорид и амонијак. Ова својство во голема мера ја намалува можноста хемиската корозија да го загрози структурниот интегритет на вертикалните кварцни чамци со нафора.

Покрај предностите во изведбата споменати погоре, вертикалните кварцни чамци на Semicorex покажуваат и одлична конкурентност во прецизноста на димензиите и структурниот дизајн. Секој дел од нив се произведени со прецизни техники на обработка. Оваа прецизна димензионална контрола обезбедува прецизно позиционирање на обландата, минимизирајќи ги гребнатините и пукнатините предизвикани од поместување или судири за време на товарење, обработка и растоварување.