Плочата за офорт со плазма ICP на Semicorex обезбедува супериорна отпорност на топлина и корозија за ракување со нафора и процеси на таложење на тенок филм. Нашиот производ е дизајниран да издржи високи температури и грубо хемиско чистење, обезбедувајќи издржливост и долговечност. Со чиста и мазна површина, нашиот носач е совршен за ракување со недопрени наполитанки.
Кога станува збор за таложење на тенок филм и ракување со обланда, верувајте во ICP плазма офортската плоча на Semicorex. Нашиот производ нуди супериорна отпорност на топлина и корозија, дури и топлинска униформност и оптимални модели на ламинарен проток на гас. Со чиста и мазна површина, нашиот носач е совршен за ракување со беспрекорни наполитанки.
Нашата плоча за офорт со плазма ICP е дизајнирана да ја постигне најдобрата шема на ламинарен проток на гас, обезбедувајќи рамномерност на термичкиот профил. Ова помага да се спречи каква било контаминација или дифузија на нечистотии, обезбедувајќи висококвалитетен епитаксијален раст на чипот на нафора.
Контактирајте со нас денес за да дознаете повеќе за нашата ICP плоча за офорт со плазма.
Параметри на ICP плазма офортска плоча
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на плочата за офорт со плазма ICP
- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа под услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии