Хомепитаксијата и хетероепитаксијата играат клучна улога во материјалната наука. Хомепитаксијата вклучува раст на кристален слој на подлога од истиот материјал, обезбедувајќи минимални дефекти поради совршеното усогласување на решетки. Спротивно на тоа, хетероепитаксијата расте кристален слој на раз......
Прочитај повеќеЗа да се постигнат барањата за висок квалитет на процесите на кола со IC чипови со ширина на линии помали од 0,13μm до 28nm за силиконски полирачки наполитанки со дијаметар од 300mm, неопходно е да се минимизира контаминацијата од нечистотии, како што се метални јони, на површината на обландата.
Прочитај повеќе