SiC керамичко лопатка

Керамичкото лопатка Semicorex SiC е напреден дел кој е развиен за апликации на полупроводнички печки на висока температура како оксидација и дифузија. Веслото делува како конзолна потпора за држење и движење на наполитанките на високи температури. Керамичкото лопатка Semicorex SiC дава керамички компоненти со висока чистота и висока јачина на процесите со висока температура кои бараат доверливост, стабилност и барања за изведба во процесот на производство.

Веслате се произведуваат од висока чистотасилициум карбид (SiC), специјално формулиран да ги издржи тешките термички и хемиски средини на процесот на производство на полупроводници. Кога обландите се третираат преку оксидација и дифузија, нафората е изложена на температури поголеми од 1000 степени C, како и на реактивни гасови како што се кислород, пареа или атмосфери на допан. На овие температури, структурниот интегритет ќе зависи од чистотата на материјалот.

Друга важна карактеристика на SiC керамичките лопатки се нивните врвни перформанси на високи температури. Поради точката на топење на SiC од 2700+C, лопатките ја задржуваат силата и механичката стабилност кога се изложени на висока температура

пературите со текот на времето. Термичкото својство го ограничува искривувањето и пукањето на материјалот при повторени циклуси на загревање и ладење додека обезбедува долг работен век во производните средини.

Обработката на полупроводници бара ултра чиста средина бидејќи дури и мали количини на нечистотии можат да влијаат на приносот и однесувањето на уредите. Материјалот SiC што се користи во лопатките има обвивка со хемиски депонирана пареа (CVD) SiC која промовира исклучително висока чистота на материјалот додека ја минимизира металната контаминација. Керамичкото лопатка SiC останува чиста и стабилна во текот на целиот животен век. Како конзолни носачи, лопатките треба да обезбедат сигурна потпора за носачите на нафора или чамците за време на вметнувањето и вадењето од печката. ПорадиSiCСо својата вродена цврстина и цврстина, тие поседуваат добри носивост со минимално отклонување, што е од суштинско значење за правилно ракување и усогласување на нафората. Во печките за оксидација и дифузија, корозивните атмосфери може да ги нападнат и деградираат традиционалните материјали со текот на времето, но SiC има способност да ја одржува својата хемиска стабилност, продолжувајќи го употребливиот век на лопатката. Ова резултира со драматично намалени трошоци за одржување и замена, бидејќи лопатките не треба да се заменуваат или поправаат скоро толку често.

Покрај перформансите, постои флексибилност во прилагодувањето на лопатките за специфична опрема и процеси. Димензиите, толеранциите и завршната површина може да се направат флексибилни за да се обезбеди вклопување помеѓу дизајните на печката и кој било друг систем за ракување со нафора. Способноста да се постигнат високи степени на прецизност на димензиите со прецизна обработка на керамиката, исто така, ќе овозможи производство на лопатки за исполнување на сложени геометрии. Целата оваа палета на функции е наменета да обезбеди беспрекорна работа и лесна интеграција во постоечките производни линии.

SiC керамикалопатките, со нивната комбинација на висока чистота, топлинска стабилност, механичка сила и хемиска отпорност, се суштински материјали во процесите на оксидација и дифузија на полупроводниците. Со обезбедување стабилна, чиста платформа за пренос на нафора, тие директно придонесуваат за подобрување на приносот, конзистентноста на процесот и севкупната производна ефикасност.