SiC лопатки

Semicorex SiC лопатките се „носители на нафора“, кои ги носат наполитанките во печки потопли од 1000 степени Целзиусови. Ова е нивната клучна придобивка: висока чистота, стабилност на висока температура, одржување на механичка цврстина при транспортирање на примерокот во екстремни средини. Материјалите со висока чистота се ефикасни за спречување на металните нечистотии да ја контаминираат нафората; така и високата температурна стабилност насилициум карбид, бидејќи ќе ја одржува хемиската стабилност на температурите на обработка што го спречуваат испуштањето на метални нечистотии или честички од контаминирање на обландата, обезбедувајќи стабилен принос на обландата. На крај,конзолни лопаткисе исто така компатибилни со интегрираните системи за пренос на нафора, што дополнително ја намалува зависноста од луѓето и ја зголемува пропусната моќ.

SiC Paddles се единствена компонента на носачот, специјално за транспорт и интеграција на полупроводнички нафора во сериски обем на работа во процеси како што се оксидација и дифузија на висока температура, меѓу другото. Направени со висока чистотасилициум карбид (SiC), SiC лопатките обезбедуваат термичка стабилност, механичка сила и хемиска издржливост за да се обезбеди стабилен транспорт над температури од 1000 °C. SiC Paddles се потребни за обработка на нафора: тоа ќе обезбеди соодветно ракување со кревките подлоги додека се одржува интегритетот и конзистентноста во текот на процесот на оксидација, дифузија и жарење.

Дизајнирани да бидат робусни и доверливи, SiC Paddles се краци од типот на конзола што држат чамци со нафора или купишта нафора. Веслото поддржува наполитанки додека се вметнуваат или отстрануваат од комората за процесирање. Конвенционалните материјали не успеваат на овие високи температури преку деформација, искривување или хемиска деградација. Механичката стабилност и структурниот интегритет на силициум карбид му овозможуваат на лопатката да преживее повеќе термички циклуси без губење на формата или функцијата. Оваа способност е важна за одржување на порамнувањето на печката, за обезбедување на наполитанките да не се оштетат за време на процесот и за минимизирање на скапите прекини.

Термичката стабилност на SiC Paddles е надополнета со неговата одлична хемиска отпорност на реактивни гасови кои обично се појавуваат во процесите на оксидација и дифузија (на пример, кислород, хлор и други агресивни видови на висока температура). Многу материјали ќе бидат уништени или контаминирани кога ќе бидат изложени и на висока температура и на кислород. Силиконскиот карбид е хемиски инертен и неговата густа микроструктура гарантира дека нема да се појават хемиски реакции, обезбедувајќи и структурен интегритет на лопатката и чиста средина за обландата. Резултантниот ризик од контаминација е сведена на минимум за производителите на полупроводници кои работат на некои од најнапредните процесни јазли за кои дури и елементите во трагови на контаминами може да предизвикаат значителни промени во перформансите на уредот.

Механичкиот интегритет поврзан со SiC Paddles, исто така, дава вредност во процесите на ракување. Структурната форма на конзола бара материјал што може да држи тежини од стеги од слоеви и да не се витка или попушта. Многу високиот модул на силициум карбид и многу високата цврстина го прават добро да се земе предвид механичката структурна функција што е потребна. SiC Paddle ја задржува плошноста и структурата дури и наполнета со наполитанки. Ова значи постојана контрола на печката и нејзините услови за време на долги периоди на производство.