Приемник за дискови SiC

Со длабока посветеност на квалитетот и иновативноста, ултра-чистиот SiC Disc Susceptor на Semicorex поставува нов стандард за перформанси во опремата за епитаксии, MOCVD и RTP. Со комбинирање на исклучителна отпорност на термички удари, супериорна топлинска спроводливост, извонредна хемиска отпорност и ултра висока чистота, овие инженерски компоненти им даваат моќ на производителите на полупроводници да постигнат неспоредлива ефикасност, доверливост и квалитет на производот. Приспособливите решенија на Semicorex дополнително гарантираат дека секоја апликација за термичка обработка има корист од оптимизирани, прецизно дизајнирани компоненти дизајнирани да ги задоволат нејзините уникатни барања.

Извонредна отпорност на термички удар:SiC Disc Susceptor се истакнува во издржувањето на брзите температурни флуктуации, кои се вообичаени во RTP и другите процеси на висока температура. Оваа исклучителна отпорност на термички удар обезбедува структурен интегритет и долговечност, минимизирајќи го ризикот од оштетување или дефект поради ненадејни температурни промени и ја зголемува доверливоста на опремата за термичка обработка.

Супериорна топлинска спроводливост:Ефикасниот пренос на топлина е критичен во апликациите за термичка обработка. Одличната топлинска спроводливост на SiC Disc Susceptor обезбедува брзо и униформно загревање и ладење, од суштинско значење за прецизна контрола на температурата и униформност на процесот. Ова води до подобрена ефикасност на процесот, намалено време на циклус и поквалитетни полупроводнички наполитанки.

Исклучителна хемиска отпорност:SiC Disc Susceptor обезбедува извонредна отпорност на широк опсег на корозивни и реактивни хемикалии кои се користат во процесите на епитаксии, MOCVD и RTP. Оваа хемиска инертност го штити основниот графит од деградација, спречува контаминација на околината на процесот и обезбедува постојани перформанси во подолги оперативни периоди.

Ултра висока чистота: SiC Disc Susceptor е произведен според ултра-високи стандарди за чистота и за графит и за обложување SiC, избегнувајќи го потенцијалот на контаминација и обезбедувајќи производство на полупроводнички уреди без дефекти. Оваа посветеност на чистотата значи повисоки приноси и подобрени перформанси на уредот.

Достапност на сложени форми:Напредните производствени способности во Semicorex овозможуваат производство на SiC Disc Susceptor во сложени форми прилагодени на специфичните барања на клиентите. Оваа флексибилност овозможува дизајнирање на сопствени решенија кои ги задоволуваат прецизните потреби на различни апликации за термичка обработка, зголемувајќи ја ефикасноста на процесот и компатибилноста на опремата.

Може да се користи во оксидирачки атмосфери:Цврстата CVD SiC облога обезбедува одлична заштита од оксидација, дозволувајќи му на SiC Disc Susceptor да работи сигурно во оксидирачки средини. Ова ја проширува нивната применливост на поширок опсег на термички процеси, обезбедувајќи разновидност и приспособливост.

Цврсти, повторливи перформанси:Дизајниран за средини со висока температура и вакуум, SiC Disc Susceptor нуди робусни и повторливи перформанси. Неговата издржливост и конзистентност ги прават идеални за апликации за критична термичка обработка, намалувајќи го времето на застој, трошоците за одржување и обезбедувајќи долгорочна оперативна сигурност.

Semicorex е специјализиран за прилагодување на компонентите обложени со CVD SiC за да се задоволат различните потреби на опремата за термичка обработка, вклучувајќи:

Дифузери:Подобрете ја униформноста на дистрибуцијата на гас и конзистентноста на процесот.

Изолатори:Обезбедете топлинска изолација и заштита во средини со висока температура.

Други прилагодени термички компоненти:Прилагодени решенија дизајнирани да ги задоволат специфичните барања за процесот и да ги оптимизираат перформансите на опремата.