SIC епитаксичен модул

Semicorex SIC епитаксијален модул, направен од премиум одделение, SIC обложен графит, е дел од епитаксијална опрема што е развиена за да ги издржи најтешките елементи на силиконските карбид (SIC) епитаксични процеси. Овој модул, наменет за висока температура во апликациите за таложење на хемиски пареа (CVD), е важна компонента во демонстрирањето на стабилноста и поддршката за нафорите за време на епитаксијалниот раст на висококвалитетниот SIC. Модулот Semicorex SIC е ефикасен основен материјал за сигурен и повторливо производство на епитаксичен материјал во согласност со квалитетни спецификации на SIC.

Модулот Semicorex SIC е графит подлога покриена со густ и униформа слој на силиконски карбид позлата и е отпорен на загадување на честички и корозија дури и во најтешките процеси на хемикалии. СИЦ облогата забранува загадување и ерозија на основниот графит и обезбедува значителна механичка поддршка и заштита до 1600 ° C. SIC модулот ја комбинира јачината и обработливоста на графитот со целокупното абење, корозија и хемиски отпорни на својства на силиконски карбид, што го прави најдобро одговара на модулот во однос на издржливоста во суровата епитаксична атмосфера.

Модулот е дизајниран да обезбеди униформа термички профил, додека ги минимизира димензионалните промени во текот на целиот процес на термички велосипедизам. Оваа термичка униформност и стабилност се од суштинско значење за одржување на нафтата на нафтата и униформност на епитаксијата. Ако нафтата одржува стабилна позиција со висока топлинска спроводливост, тогаш термичките услови низ нафтата за време на обработката ќе бидат униформни, што позитивно влијае на приносот, квалитетот на кристалот и времето на прекин поврзан со делот на делот или загадувањето.

Епитаксијалниот модул SIC е компатибилен со неколку епитаксијални реактори, вклучувајќи топол wallид и ладен wallид и има опција да се прилагоди за да се обликуваат и димензиите за да се сместат специфични распоред на реакторот и потребите на клиентите. Епитаксијалниот модул SIC е добро прилагоден за, но не ограничувајќи се на, 4-инчни, 6-инчни и новите 8-инчни SIC епитаксични апликации. Поради високата чистота и оптимизираната геометрија на SIC епитаксијалниот модул, физичкото мешање е минимизирано во неговото влијание врз динамиката на протокот на гас и термичките градиенти кои поддржуваат повеќе контролиран раст на епитаксијалниот слој.

SIC епитаксијалните модули на Semicorex претставуваат контролирано парче со највисок квалитет во ексцентричното склопување. Покрај протоколите за контрола на квалитетот, Semicorex ги користи најновите методи за обложување за да се применат униформни, густи и ниски филмови за SIC. Semicorex има долга историја на керамички облоги со високи перформанси и графитна машинска обработка на процесите што ги обезбедуваат најдобриот можен живот, конзистентност и стабилност на процесите од серија до серија.

Во полето за брзо еволуција на SIC Power уреди, каде што квалитетот на материјалот директно влијае на перформансите на уредот, епитаксијалниот модул не е само потрошен-тоа е критичен овозможувач. SIC обложен графит епитаксичен модул од Semicorex нуди робусно, сигурно решение за клиентите кои сакаат да ги истуркаат границите на ефикасноста, приносот и економичноста во SIC Epitaxy.