Рецептор за епитаксии на SiC

Изработен со прецизност и конструиран за доверливост, SiC Epitaxy Susceptor се карактеризира со висока отпорност на корозија, висока топлинска спроводливост, отпорност на термички шок и висока хемиска стабилност, што му овозможува ефикасно да функционира во епитаксијална атмосфера. Затоа, SiC Epitaxy Susceptor се смета за јадро и клучна компонента во опремата MOCVD. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.

Испрати барање

Опис на производот

SiC Epitaxy Susceptor е критична компонента што се користи во опремата MOCVD за поддршка и загревање на еднокристални подлоги. Неговите супериорни параметри за изведба како што се термичка стабилност и топлинска униформност играат одлучувачка улога во квалитетот на епитаксиалниот раст на материјалот, обезбедувајќи високи нивоа на униформност и чистота во материјалите со тенок слој.

SiC Epitaxy Susceptor поседува одлична густина, обезбедувајќи ефикасна заштита при високи температури и корозивни работни средини. Дополнително, неговото високо ниво на плошност на површината совршено ги задоволува барањата за раст на еден кристал на површината на подлогата.

Минималниот коефициент на разлики во термичката експанзија во SiC Epitaxy Susceptor значително ја подобрува цврстината на сврзување помеѓу епитаксијалната подлога и материјалот за обложување, со што се намалува веројатноста за пукање откако ќе се доживее термички циклус на висока температура.

Истовремено, тој покажува висока топлинска спроводливост, олеснувајќи ја брзата и униформа дистрибуција на топлина за раст на чипот. Покрај тоа, неговата висока точка на топење, температурна отпорност, отпорност на оксидација и отпорност на корозија овозможуваат стабилно работење во работни средини со висока температура и корозија.

Како клучна компонента во комората за реакција на опремата MOCVD, SiC Epitaxy Susceptor мора да поседува предности како што се отпорност на високи температури, рамномерна топлинска спроводливост, добра хемиска стабилност и силна отпорност на термички шок. Semicorex SiC Epitaxy Susceptor ги исполнува сите овие барања.