SiC грејна нишка

Semicorex SiC Heating Filament, греен елемент со висок вакуум развиен за обработка на нафора во ново производство на полупроводници, е иновативен греен елемент дизајниран сографитно јадрои со висока чистотаоблога од силициум карбид. Специјалната нишка ја користи топлинската спроводливост на графитот и издржливоста и заштитата на SiC, што резултира со стабилен и енергетски ефикасен грејач со текот на времето. SiC Heating Filament е дизајниран да ги загрева наполитанките подеднакво и да ги достигне спецификациите, што го прави одлична компонента за полупроводничка обработка на високи температури, како што се епитаксија, дифузија и жарење.

SiC Heating Filament е направен со графит со висока чистота поради топлинските својства на графитот и квалитетните електрични својства. Графитот ја обезбедува главната функција за загревање што овозможува брз одговор и ефикасно загревање при електрично оптоварување. Густата обвивка SiC со висока чистота го штити филаментот од можни извори на контаминација. Облогата SiC ја штити нафората од хемиска контаминација, а оксидацијата, како и честичките во комората, го продолжува корисниот век на филаментот и создава чиста околина во комората.

Клучен квалитет на влакното за загревање SiC е способноста да испорача еднообразно загревање на нафората. Температурните варијации низ обландата може да доведат до дефекти или губење на приносот. SiC Heating Filament има одлична топлинска спроводливост и цврстиот дизајн на влакното гарантира дека топлината ќе биде стабилна и порамномерна, ограничувајќи ги топлинските градиенти за апсолутна контрола на процесот.

SiC Heating Filament може да се приспособи, вредноста на електричниот отпор на секоја влакно може да се прилагоди за неговиот процесен алат и работната средина. Ова прилагодување овозможува технологијата на силициум карбид да ја контролира вредноста на отпорот на геометријата на филаментот, дебелината на облогата и својствата на материјалот. SiC грејната нишка може да собере многу различни дизајни на печки со многу различни големини на нафора и процесни рецепти. Ова е особено поволно за производителите на полупроводници, бидејќи овозможува тековните процеси да работат поефикасно и ја одржува компатибилноста со веќе поставените системи.  Третата карактеристика на перформансите е издржливоста. Во процесите на полупроводници со висока температура, грејниот елемент е изложен на многу агресивни хемиски средини и повторено термички циклус.

Апликациите на Semicorex SiC Heating Filament опфаќаат широка низа процеси на производство на полупроводнички уреди. За време на епитаксијалниот раст, на пример, грејниот елемент обезбедува стабилна и униформа температура на подлогата за таложење на висококвалитетни кристални филмови.