Semicorex е ваш партнер за подобрување во полупроводничката обработка. Нашите премази од силициум карбид се густи, високи температури и хемиски отпорни, кои често се користат во целиот циклус на производство на полупроводници, вклучително и обработка на полупроводнички нафора и нафора и производство на полупроводници.
СиЦ керамичките компоненти со висока чистота се клучни за процесите во полупроводниците. Нашата понуда се движи од делови за потрошен материјал за опрема за обработка на нафора, како што се чамец со нафора од силикон карбид, лопатки со конзоли, цевки, итн за Epitaxy или MOCVD.
Предности за полупроводнички процеси
Фазите на таложење на тенок филм, како што се епитаксијата или MOCVD, или обработката на обланда, како што е офорт или јонски имплант, мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење. Семикорекс обезбедува конструкција со силициум карбид (SiC) со висока чистота, обезбедува супериорна отпорност на топлина и издржлива хемиска отпорност, дури и термичка униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи.
Капаци на комората →
Капаците на комората што се користат за раст на кристали и обработка на обланда мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење.
Конзолна лопатка →
Конзолната лопатка е клучна компонента што се користи во процесите на производство на полупроводници, особено во дифузните или LPCVD печките за време на процеси како дифузија и RTP.
Процесна цевка →
Process Tube е клучна компонента, специјално дизајнирана во различни апликации за обработка на полупроводници како што се RTP, дифузија.
Чамци со нафора →
Wafer Boat се користи во полупроводничка обработка, тој е прецизно дизајниран за да се осигура дека деликатните наполитанки се чуваат безбедни за време на критичните фази на производство.
Влезни прстени →
Влезен прстен за гас обложен со SiC со опрема MOCVD Растот на соединението има висока отпорност на топлина и корозија, што има голема стабилност во екстремна средина.
Фокус прстен →
Semicorex го снабдува Фокусниот прстен обложен со силикон карбид е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Чак за нафора →
Семикорекс ултра рамните керамички вакуумски нафора се обложени со висока чистота SiC кои се користат во процесот на ракување со нафора.
Semicorex исто така има керамички производи во Алумина (Al2O3), силикон нитрид (Si3N4), алуминиум нитрид (AIN), цирконија (ZrO2), композитна керамика итн.
Силиконскиот карбид вентил Semicorex е витална компонента во различни индустриски апликации, нудејќи неспоредлива отпорност на корозија, издржливост на температурата и механичка еластичност. Погоден е за индустрии кои се движат од петрохемиски до биофармацевтски, обезбедувајќи ефикасно и сигурно работење дури и во најпредизвикувачките средини.
Прочитај повеќеИспрати барањеЕлектростатскиот чак PBN од Semicorex се издвојува во полето на ракување со обланди во производството на полупроводници поради неговите уникатни својства на материјалот.
Прочитај повеќеИспрати барањеСиликонскиот нитрид валјак, претставен од Semicorex, е направен од синтеруван силикон нитрид под притисок на гас (Si3N4), керамички материјал со високи перформанси.
Прочитај повеќеИспрати барањеСемикорекс SiC Ротационен заптивен прстен е дизајниран да работи во услови на висок притисок и висока температура. Неговата стабилност и издржливост во такви средини го прават непроценлива компонента во апликациите за запечатување каде што традиционалните материјали може да не успеат.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SiC Robot Arm е керамичка роботска рака со силициум карбид со високи перформанси дизајнирана за прецизност и издржливост во процесите на производство на полупроводници. Изберете Semicorex за нашата експертиза за испорака на иновативни, сигурни и висококвалитетни решенија прилагодени на потребите на индустријата за полупроводници.*
Прочитај повеќеИспрати барањеБродовите Semicorex SiC се керамички држачи за нафора со силициум карбид со високи перформанси дизајнирани за прецизност и издржливост во процесите на дифузија. Изберете Semicorex за неспоредлив квалитет, експертиза во индустријата и приспособени решенија кои ја оптимизираат вашата производна ефикасност.*
Прочитај повеќеИспрати барање