SiC облогата е тенок слој на суцепторот преку процесот на хемиско таложење на пареа (CVD). Материјалот од силициум карбид обезбедува голем број на предности во однос на силициумот, вклучително и 10 пати поголема јачина на електричното поле на распаѓање, 3x јазот на лентата, што му обезбедува на материјалот висока температура и хемиска отпорност, одлична отпорност на абење, како и топлинска спроводливост.
Semicorex обезбедува приспособена услуга, ви помага да иновирате со компоненти кои траат подолго, го намалуваат времето на циклусот и го подобруваат приносот.
SiC облогата поседува неколку уникатни предности
Отпорност на високи температури: CVD SiC обложениот сензор може да издржи високи температури до 1600°C без да претрпи значителна термичка деградација.
Хемиска отпорност: Облогата со силициум карбид обезбедува одлична отпорност на широк спектар на хемикалии, вклучувајќи киселини, алкалии и органски растворувачи.
Отпорност на абење: SiC облогата му обезбедува на материјалот одлична отпорност на абење, што го прави погоден за апликации кои вклучуваат големо абење и кинење.
Топлинска спроводливост: CVD SiC облогата му обезбедува на материјалот висока топлинска спроводливост, што го прави погоден за употреба во апликации со висока температура кои бараат ефикасен пренос на топлина.
Висока јачина и вкочанетост: Степенот обложен со силициум карбид му обезбедува на материјалот висока јачина и вкочанетост, што го прави погоден за апликации кои бараат висока механичка сила.
SiC облогата се користи во различни апликации
Производство на LED: CVD SiC обложениот сензор се користи во производството обработени од различни типови LED, вклучувајќи сини и зелени LED, UV LED и длабоки UV LED, поради неговата висока топлинска спроводливост и хемиска отпорност.
Мобилна комуникација: CVD SiC обложениот чувствител е клучен дел од HEMT за да се заврши GaN-on-SiC епитаксијалниот процес.
Полупроводничка обработка: CVD SiC обложениот сензор се користи во индустријата за полупроводници за различни апликации, вклучително и обработка на нафора и епитаксијален раст.
Графитни компоненти обложени со SiC
Направен од графит со облога со силициум карбид (SiC), облогата се нанесува со CVD метод на специфични степени на графит со висока густина, така што може да работи во печка со висока температура со над 3000 °C во инертна атмосфера, 2200 °C во вакуум .
Посебните својства и малата маса на материјалот овозможуваат брзи стапки на загревање, рамномерна распределба на температурата и извонредна прецизност во контролата.
Податоци за материјалот на Semicorex SiC Coating
Типични својства |
Единици |
Вредности |
Структура |
|
FCC β фаза |
Ориентација |
Дропка (%) |
111 претпочитано |
Масовна густина |
g/cm³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Термичка експанзија 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Заклучок CVD SiC обложениот сусцептор е композитен материјал кој ги комбинира својствата на сенцептор и силициум карбид. Овој материјал поседува уникатни својства, вклучувајќи висока температура и хемиска отпорност, одлична отпорност на абење, висока топлинска спроводливост и висока јачина и вкочанетост. Овие својства го прават атрактивен материјал за различни апликации на високи температури, вклучувајќи обработка на полупроводници, хемиска обработка, термичка обработка, производство на соларни ќелии и производство на LED.
RTP Graphite Carrier Plate на Semicorex е совршено решение за апликации за обработка на полупроводнички нафора, вклучувајќи епитаксиален раст и обработка на обланда. Нашиот производ е дизајниран да нуди супериорна отпорност на топлина и топлинска униформност, осигурувајќи дека епитаксиите се подложени на околината на таложење, со висока отпорност на топлина и корозија.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex RTP SiC Coating Carrier нуди супериорна отпорност на топлина и топлинска униформност, што го прави совршено решение за апликации за обработка на полупроводнички обланди. Со својот висококвалитетен графит обложен со SiC, овој производ е дизајниран да ја издржи најтешката средина за таложење за епитаксијален раст. Високата топлинска спроводливост и одличните својства на дистрибуција на топлина обезбедуваат сигурни перформанси за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Прочитај повеќеИспрати барањеНосачот за обложување Semicorex RTP/RTA SiC е дизајниран да ги издржи најтешките услови на околината за таложење. Со својата висока отпорност на топлина и корозија, овој производ е дизајниран да обезбеди оптимални перформанси за епитаксијален раст. Носачот обложен со SiC има висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина, што обезбедува сигурни перформанси за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SiC Graphite RTP носачката плоча за MOCVD нуди супериорна отпорност на топлина и топлинска униформност, што го прави совршено решение за апликации за обработка на нафора со полупроводници. Со висококвалитетен графит обложен со SiC, овој производ е дизајниран да ја издржи најтешката средина за таложење за епитаксијален раст. Високата топлинска спроводливост и одличните својства на дистрибуција на топлина обезбедуваат сигурни перформанси за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SiC обложена RTP носачка плоча за епитаксијален раст е совршено решение за апликации за обработка на полупроводнички нафора. Со своите висококвалитетни јаглеродни графитни сензори и кварцни садници обработени од MOCVD на површината на графит, керамика и сл., овој производ е идеален за ракување со нафора и обработка на епитаксијален раст. Носачот обложен со SiC обезбедува висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина, што го прави сигурен избор за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex е голем производител и снабдувач на силикон карбид обложен графит сусцептор во Кина. Семикорекс графит сензор конструиран специјално за опрема за епитаксија со висока отпорност на топлина и корозија во Кина. Нашиот RTP RTA SiC обложен носач има добра ценовна предност и покрива многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер.
Прочитај повеќеИспрати барање