SiC облогата е тенок слој на суцепторот преку процесот на хемиско таложење на пареа (CVD). Материјалот од силициум карбид обезбедува голем број на предности во однос на силициумот, вклучително и 10 пати поголема јачина на електричното поле на распаѓање, 3x јазот на лентата, што му обезбедува на материјалот висока температура и хемиска отпорност, одлична отпорност на абење, како и топлинска спроводливост.
Semicorex обезбедува приспособена услуга, ви помага да иновирате со компоненти кои траат подолго, го намалуваат времето на циклусот и го подобруваат приносот.
SiC облогата поседува неколку уникатни предности
Отпорност на високи температури: CVD SiC обложениот сензор може да издржи високи температури до 1600°C без да претрпи значителна термичка деградација.
Хемиска отпорност: Облогата со силициум карбид обезбедува одлична отпорност на широк спектар на хемикалии, вклучувајќи киселини, алкалии и органски растворувачи.
Отпорност на абење: SiC облогата му обезбедува на материјалот одлична отпорност на абење, што го прави погоден за апликации кои вклучуваат големо абење и кинење.
Топлинска спроводливост: CVD SiC облогата му обезбедува на материјалот висока топлинска спроводливост, што го прави погоден за употреба во апликации со висока температура кои бараат ефикасен пренос на топлина.
Висока јачина и вкочанетост: Степенот обложен со силициум карбид му обезбедува на материјалот висока јачина и вкочанетост, што го прави погоден за апликации кои бараат висока механичка сила.
SiC облогата се користи во различни апликации
Производство на LED: CVD SiC обложениот сензор се користи во производството обработени од различни типови LED, вклучувајќи сини и зелени LED, UV LED и длабоки UV LED, поради неговата висока топлинска спроводливост и хемиска отпорност.
Мобилна комуникација: CVD SiC обложениот чувствител е клучен дел од HEMT за да се заврши GaN-on-SiC епитаксијалниот процес.
Полупроводничка обработка: CVD SiC обложениот сензор се користи во индустријата за полупроводници за различни апликации, вклучително и обработка на нафора и епитаксијален раст.
Графитни компоненти обложени со SiC
Направен од графит со облога со силициум карбид (SiC), облогата се нанесува со CVD метод на специфични степени на графит со висока густина, така што може да работи во печка со висока температура со над 3000 °C во инертна атмосфера, 2200 °C во вакуум .
Посебните својства и малата маса на материјалот овозможуваат брзи стапки на загревање, рамномерна распределба на температурата и извонредна прецизност во контролата.
Податоци за материјалот на Semicorex SiC Coating
Типични својства |
Единици |
Вредности |
Структура |
|
FCC β фаза |
Ориентација |
Дропка (%) |
111 претпочитано |
Масовна густина |
g/cm³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Термичка експанзија 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Заклучок CVD SiC обложениот сусцептор е композитен материјал кој ги комбинира својствата на сенцептор и силициум карбид. Овој материјал поседува уникатни својства, вклучувајќи висока температура и хемиска отпорност, одлична отпорност на абење, висока топлинска спроводливост и висока јачина и вкочанетост. Овие својства го прават атрактивен материјал за различни апликации на високи температури, вклучувајќи обработка на полупроводници, хемиска обработка, термичка обработка, производство на соларни ќелии и производство на LED.
Semicorex MOCVD Satellite Holder Plate е извонреден носач дизајниран за употреба во индустријата за полупроводници. Неговата висока чистота, одличната отпорност на корозија, па дури и термичкиот профил го прават одличен избор за оние кои бараат носач што може да ги издржи барањата на процесот на производство на полупроводници. Посветени сме на нашите клиенти да им обезбедиме висококвалитетни производи кои ги задоволуваат нивните специфични барања. Контактирајте не денес за да дознаете повеќе за нашата плоча за држач за сателитски MOCVD и како можеме да ви помогнеме со вашите потреби за производство на полупроводници.
Прочитај повеќеИспрати барањеМожете да бидете сигурни дека ќе купите SiC облоги од графитна подлога за носачи на нафора за MOCVD од нашата фабрика. Во Semicorex, ние сме голем производител и снабдувач на SiC обложен графит сусцептор во Кина. Нашиот производ има добра ценовна предност и покрива многу европски и американски пазари. Ние се стремиме да им обезбедиме на нашите клиенти производи со висок квалитет кои ги задоволуваат нивните специфични барања. Нашиот носач за обланда за подлога од графит со облога SiC за MOCVD е одличен избор за оние кои бараат носач со високи перформанси за нивниот процес на производство на полупроводници.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SiC обложена графитна база на суцептори за MOCVD се носачи со супериорен квалитет што се користат во индустријата за полупроводници. Нашиот производ е дизајниран со висококвалитетен силициум карбид кој обезбедува одлични перформанси и долготрајна издржливост. Овој носач е идеален за употреба во процесот на растење на епитаксијален слој на чипот на нафора.
Прочитај повеќеИспрати барањеСусцепторите на Semicorex за MOCVD реактори се висококвалитетни производи што се користат во индустријата за полупроводници за различни апликации како што се слоеви од силициум карбид и епитаксии полупроводници. Нашиот производ е достапен во форма на запчаник или прстен и е дизајниран да постигне отпорност на оксидација на висока температура, што го прави стабилен на температури до 1600°C.
Прочитај повеќеИспрати барањеМожете да бидете сигурни дека ќе купите силиконски епитаксии од нашата фабрика. Silicon Epitaxy Susceptor на Semicorex е висококвалитетен производ со висока чистота што се користи во индустријата за полупроводници за епитаксијален раст на чипот на нафора. Нашиот производ има супериорна технологија за обложување која обезбедува облогата да биде присутна на сите површини, спречувајќи лупење. Производот е стабилен на високи температури до 1600°C, што го прави погоден за употреба во екстремни средини.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex е водечки производител и снабдувач на SiC Susceptor за MOCVD. Нашиот производ е специјално дизајниран за да ги задоволи потребите на индустријата за полупроводници за одгледување на епитаксијалниот слој на чипот на нафора. Производот се користи како централна плоча во MOCVD, со запчаник или дизајн во облик на прстен. Има висока отпорност на топлина и корозија, што го прави идеален за употреба во екстремни средини.
Прочитај повеќеИспрати барање