Цврсти перки од силициум карбид

Полукорекс солиднасилициум карбид перкиобично се инсталирани како компоненти за топлинска изолација во вертикалните цевки на печката на полупроводничка опрема за термичка обработка, како што се печки за жарење RTP и дифузни печки. Перките од цврст силициум карбид Semicorex можат ефикасно да ја регулираат распределбата на температурата во печките со висока температура и да го минимизираат топлинското оштетување на деловите за заптивање на вратите предизвикани од високите температури. Во работни услови со влажна оксидација, цврстите силициум карбидни перки Semicorex може да се користат за ефикасно да се спречат негативните влијанија врз резултатите од процесот и полупроводничките уреди предизвикани од кондензација на водена пареа при релативно ниски температури на процесот.

Предностите на цврстите силициум карбидни перки Semicorex

1. Одлична отпорност на абење

CVD SiC се одликува со поликристална кубна кристална структура, со исклучителна цврстина втор по дијамантот. Одличната отпорност на абење на перките од цврст силициум карбид Semicorex се припишува на ова својство, што ги прави да издржат абразија при ракување и замена.

2. Супериорен капацитет за управување со топлинска енергија

CVD SiC обезбедува одлична термичка отпорност и стабилност на висока температура, која не се топи или омекнува на температури до приближно 2000°C и ја одржува својата стабилност пред сублимација на ултра висока температура. Благодарение на овие супериорни термички карактеристики, цврстите силициум карбидни перки Semicorex се многу погодни за предизвикувачките услови за обработка на термичка обработка со полупроводници.

3. Ултра висока чистота

CVD-SiCсе произведува без адитиви за синтерување при процесот на таложење. Во споредба со конвенционалниот силициум карбид поврзан со реакција, тој се одликува со многу поголема чистота, достигнувајќи над 99,9995%. Ова ефикасно го спречува загадувањето со метална нечистотија на перките од цврст силициум карбид Semicorex предизвикано од високите температури во процесните средини, совршено задоволувајќи ги барањата за чистота на напредното производство на полупроводници.

4. Сигурна отпорност на корозија

Полукорекс цврстите силициум карбидни перки можат да издржат високо оксидирачки и силно кисели процесни гасови кои се користат во процесите на термичка обработка со полупроводници, поради исклучителната хемиска инертност на CVD SiC на високи температури. Оваа сигурна отпорност на корозија ефикасно го продолжува нивниот работен век, намалувајќи ги трошоците за замена на компонентите.

5. Прецизна прецизност на обработката

За да се обезбеди компатибилност со различни цевки од печката, Semicorex може да ги приспособи цврстите силициум карбидни перки според барањата на клиентите за дијаметар, дебелина, големина на дупка, плошност и димензионални толеранции. Оваа високо-стандардна прецизност на обработката гарантира стабилна работа на перките во опремата и помага да се оптимизира целокупната ефикасност на апликациите за термичка обработка со полупроводници.