Цврст прстен за фокусирање на силикон карбид

Фокусирачкиот прстен со цврст силикон карбид Semicorex е клучна компонента во производството на полупроводници, стратешки позициониран надвор од обландата за да одржува директен контакт. Со користење на применетиот напон, овој прстен ја фокусира плазмата што минува низ неа, а со тоа ја подобрува униформноста на процесот на нафората. Конструиран исклучиво од силикон карбид со хемиско таложење на пареа (CVD SiC), овој фокусен прстен ги отелотворува исклучителните квалитети што ги бара индустријата за полупроводници. Ние во Semicorex сме посветени на производство и снабдување со прстен за фокусирање со цврст силикон карбид со високи перформанси што го спојува квалитетот со економичната ефикасност.

Испрати барање

Опис на производот

Во производството на полупроводници, прстенот за фокусирање со цврст силикон карбид Semicorex има клучна улога со тоа што делува како штит, зачувувајќи го интегритетот на обландата за време на процесот на офорт. Неговиот прецизно дизајниран дизајн обезбедува прецизно и еднообразно офортување, а со тоа го олеснува производството на многу сложени полупроводнички елементи кои покажуваат супериорни перформанси и доверливост.

Силиконскиот карбид е материјал на избор за прстенот за фокусирање поради неговата супериорна отпорност на корозија на плазмата кога е изложен на плазма во комората за реакција на вакуум. Цврстиот прстен за фокусирање на силикон карбид го надминува традиционалниот силикон во неколку аспекти, вклучувајќи:

(1) Висока густина што ги минимизира стапките на офорт.

(2) Супериорен јаз на лентата и одлични изолациски својства.

(3) Исклучителна топлинска спроводливост, низок коефициент на термичка експанзија и отпорност на термички шок.

(4) Висока еластичност заедно со одлична отпорност на механички влијанија.

(5) Извонредна цврстина, отпорност на абење и отпорност на корозија.

Спроводливоста и отпорноста на јонско гравирање на силициум карбид се слични на силициум, што го прави прстенот за фокусирање со цврст силикон карбид идеален материјал за оваа апликација.

Фокусирачкиот прстен со цврст силикон карбид Semicorex стои како најсовремено решение во областа на производството на полупроводници. Ги користи уникатните својства на CVD SiC за да ги олесни сигурните процеси на офорт со високи перформанси, што значително придонесува за унапредување на технологијата на полупроводници.