Сусцептор со решетка

Semicorex Susceptor with Grid е специјализирана компонента која се користи во процесот на епитаксијален раст на полупроводничките наполитанки. Овој критичен дел од опремата е дизајниран да ги носи и поддржува наполитанките за време на таложењето на материјалите во системот за метално-органско хемиско таложење на пареа (MOCVD). Сусцепторот со решетка игра клучна улога во обезбедувањето униформен и контролиран раст на епитаксијалните слоеви на полупроводничката обланда.

Susceptor with Grid е конструиран со материјали оптимизирани за неговата функција. Во овој случај, тој е направен од MOCVD SiC (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) обложен графит. Овој избор на материјали обезбедува неколку предности, вклучувајќи отпорност на висока температура, хемиска стабилност и одлична топлинска спроводливост. Облогата на SiC на графитот ја подобрува издржливоста и отпорноста на сусцепторот на суровите услови кои се среќаваат за време на процесот на епитаксијален раст.

Структурата Susceptor with Grid служи како потпорен механизам за полупроводничките наполитанки. Тој е стратешки дизајниран да ги држи наполитанките безбедно на своето место додека овозможува ефикасен проток на гасови и униформно таложење на материјалите. Моделот на решетка помага да се дистрибуираат топлината и реактантите рамномерно низ површината на обландата, придонесувајќи за прецизна контрола на дебелината и составот на епитаксијалниот слој.

Semicorex Susceptor with Grid е критична компонента во процесот на производство на напредни полупроводнички уреди. Неговата робусна конструкција и специјализиран дизајн го прават суштинска алатка за постигнување висококвалитетен епитаксијален раст, обезбедувајќи производство на полупроводници со супериорни перформанси и доверливост.