Планетарна плоча обложена со TaC

Планетарната плоча обложена со Semicorex TaC служи како клучна компонента во MOCVD реакторите, прикажувајќи планетарен дизајн кој се карактеризира со бројни џебови од обланди распоредени долж нејзината површина. Овие џебови се специјално создадени за сигурно да ги сместат наполитанките за време на фазата на раст на кој било епитаксијален слој, стабилизирајќи ги наполитанките на подлогата и минимизирајќи го движењето на подлогата при покачени температури на процесот. Точната геометрија на џебот обезбедува конзистентно поставување на нафора што е важно за униформа дебелина на епитаксијалните слоеви и нивоа на униформност на дефектите на подлогата за сите наполитанки одгледувани во текот на истиот процес.

Важен дизајнерски аспект на планетарната плоча, уште еднаш, е инженерската дисперзија на фини дупки за проток на гас долж површината на плочата. Овие дупки се внимателно дизајнирани и стратешки позиционирани специјално за да го мерат протокот на прекурсорните гасови во реакторот, така што се постигнува униформа дисперзија на гасот и рамномерно таложење меѓу секоја обланда. Во секој процес на MOCVD, аспектите на динамиката на гасот се клучни за одредување на квалитетите на филмот, униформноста на дебелината и севкупните перформанси на уредот. Оптимизираниот дизајн на дупката наTaC обложенаПланетарната плоча гарантира дека сите наполитанки ги доживуваат истите услови на процесот, што обезбедува оптимален начин за подобрување на приносот и репродуктивноста.

НаTaC (тантал карбид) облогадополнително ги продолжува перформансите и животниот век на планетарната плоча. Тантал карбидот е исклучително тврд, хемиски инертен и термички спроводлив, што го прави одличен слој за екстремни MOCVD средини. За време на епитаксијата, компонентите во реакторот ќе наидат на високи температури, реактивни прекурсорни гасови и изложеност на плазма. Облогата TaC служи како цврста бариера за корозија, оксидација и создавање честички за да резултира со значително продолжување на животниот век на планетарната плоча отколку необложена или конвенционално обложена плоча.

Долговечноста и издржливоста на TaC обложената планетарна плоча го прават економичен избор за MOCVD системите. Издржливиот TaC слој може да издржи повторено термички циклус и изложеност на екстремни процесни гасови додека го одржува структурниот интегритет и стабилноста на перформансите додека работи во подолги временски рамки.