TaC обложена цевка

Semicorex TaC обложената цевка претставува врв на науката за материјалите, конструирана да ги издржи екстремните услови кои се среќаваат во напредното производство на полупроводници. Создадена со нанесување на густ, униформен слој од TaC на изотропна подлога од графит со висока чистота преку хемиско таложење на пареа (CVD), TaC обложената цевка нуди привлечна комбинација на својства што ги надминуваат конвенционалните материјали во бараните високи температури и хемиски агресивни средини. **

Испрати барање

Опис на производот

Моќта на Semicorex TaC обложената цевка лежи во синергетската комбинација на основниот материјал и специјализираниот слој:

Фондација за изотропен графит со висока чистота:Јадрото на TaC обложената цевка е формирано од изотропен графит со ултра висока чистота, познат по својата одлична топлинска спроводливост, мала термичка експанзија и вродена отпорност на термички шок. Оваа основа обезбедува цврста и стабилна платформа способна да ги издржи брзите температурни флуктуации и високите топлински оптоварувања карактеристични за полупроводничката обработка.

Тантал карбид---Штит на издржливост и инертност:TaC облогата применета со CVD ја трансформира графитната подлога, давајќи исклучителна цврстина, отпорност на абење и хемиска инертност. Овој заштитен слој делува како бариера против агресивните гасови, плазми и реактивни видови кои се среќаваат за време на производството на полупроводници, обезбедувајќи го структурниот интегритет и долговечноста на цевката.

Оваа уникатна комбинација на материјали се претвора во низа предности кои се клучни за напредното производство на полупроводници:

Неспоредлив температурен отпор:TaC може да се пофали со една од највисоките точки на топење од сите познати материјали, надминувајќи го дури и силициум карбидот (SiC). Оваа екстремна температурна отпорност овозможува TaC обложената цевка да работи сигурно во процеси за кои се потребни температури поголеми од 2500°C, што овозможува производство на полупроводнички уреди од следната генерација со барани топлински буџети.

Ултра-висока чистота за контрола на критичните процеси:Одржувањето на чисти процесни средини е најважно во производството на полупроводници. Употребата на графит со висока чистота и прецизниот процес на CVD обложување обезбедуваат минимално испуштање на гасови или создавање на честички од TaC обложената цевка, спречувајќи ја контаминацијата што може да ги загрози чувствителните површини на нафора и перформансите на уредот.

Непоколеблива хемиска отпорност:Хемиската инертност на TaC обложената цевка обезбедува исклучителна отпорност на широк опсег на корозивни гасови, реактивни јони и плазма средини кои вообичаено се користат во полупроводнички процеси како што се офорт, таложење и жарење. Оваа силна хемиска стабилност значи продолжен век на траење на цевката, намалени барања за одржување и пониски вкупни трошоци за сопственост.

Зголемена механичка издржливост за продолжен работен век:Силната сила на поврзување помеѓу TaC облогата и графитната подлога, заедно со вродената цврстина на TaC обложената цевка, обезбедува исклучителна отпорност на абење, ерозија и механички стрес. Оваа подобрена издржливост се преведува на подолг работен век и намалено време на замена за замена, подобрување на ефикасноста и пропусната моќ на процесот.