Акцептор на нафора

Semicorex Wafer Susceptor е стручно изработен од графит и обложен со силициум карбид (SiC) за да ги задоволи бараните услови на модерното производство на полупроводници.

Во процесите на епитаксијата, одржувањето на стабилна и контролирана средина е апсолутно неопходно. Поддржувачот на нафора служи како основна платформа на која се поставуваат наполитанки при таложење, исполнувајќи ги прецизните барања за температурна униформност, хемиска инертност и механичка сила за да се постигнат висококвалитетни епитаксијални слоеви.

Изборот на графит како основен материјал за Wafer Susceptor е поттикнат од неговата одлична топлинска спроводливост и механички својства. Способноста на графитот да издржи високи температури додека го одржува структурниот интегритет е клучна во високотемпературните средини на епитаксичните реактори. Дополнително, топлинската спроводливост на графитот обезбедува ефикасна дистрибуција на топлина низ обландата, намалувајќи го ризикот од температурни градиенти кои би можеле да доведат до дефекти на епитаксијалниот слој.

За да се подобрат перформансите на Wafer Susceptor, на графитната основа стручно се нанесува облога од силициум карбид (SiC). SiC е високо издржлив материјал со супериорна хемиска отпорност, што го прави идеален за употреба во полупроводнички средини каде често се присутни реактивни гасови. Облогата SiC обезбедува заштитна бариера што го штити графитот од потенцијални хемиски реакции, обезбедувајќи долговечност на сензорот за обланда и одржувајќи чиста околина во реакторот.

Semicorex Wafer Susceptor изработен од графит обложен со SiC е незаменлива компонента во процесите на полупроводничка епитаксија. Неговата комбинација на термички и механички својства на графитот со хемиската и термичка стабилност на силициум карбид го прави идеално погоден за ригорозните барања на современото производство на полупроводници. Дизајнот со една обланда нуди прецизна контрола врз процесот на епитаксијата, придонесувајќи за производство на висококвалитетни полупроводнички уреди. Овој сензор гарантира дека наполитанките се ракуваат со најголема грижа и прецизност, што резултира со супериорни епитаксијални слоеви и полупроводнички производи со подобри перформанси.