Кога станува збор за процесите на ракување со нафора, како што се епитаксијата и MOCVD, високотемпературната SiC облога на Semicorex за плазма еч комори е најдобриот избор. Нашите носачи обезбедуваат супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност и издржлива хемиска отпорност благодарение на нашата фина обвивка од SiC кристал.
Во Semicorex, ја разбираме важноста на висококвалитетната опрема за ракување со нафора. Затоа, нашата високотемпературна SiC обвивка за плазма коморите за гравирање е дизајнирана специјално за средини за чистење со висока температура и сурово хемиско чистење. Нашите носачи обезбедуваат дури и термички профили, модели на ламинарен проток на гас и спречуваат контаминација или дифузија на нечистотии.
Контактирајте со нас денес за да дознаете повеќе за нашата високотемпературна SiC облога за комори за гравирање со плазма.
Параметри на високотемпературна SiC облога за плазма офорт комори
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на високотемпературна SiC облога за плазма офорт комори
- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен на високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа во услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии