Дома > Производи > Обложено со силициум карбид > ICP носач за офорт > Високотемпературна SiC облога за комори за гравирање со плазма
Високотемпературна SiC облога за комори за гравирање со плазма

Високотемпературна SiC облога за комори за гравирање со плазма

Кога станува збор за процесите на ракување со нафора, како што се епитаксија и MOCVD, високотемпературната SiC облога за плазма комори за гравирање на Semicorex е најдобриот избор. Нашите носачи обезбедуваат супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност и издржлива хемиска отпорност благодарение на нашата фина обвивка од SiC кристал.

Испрати барање

Опис на производот

Во Semicorex, ја разбираме важноста на висококвалитетната опрема за ракување со нафора. Затоа, нашата високотемпературна SiC обвивка за плазма коморите за гравирање е дизајнирана специјално за средини за чистење со висока температура и сурово хемиско чистење. Нашите носачи обезбедуваат дури и термички профили, модели на ламинарен проток на гас и спречуваат контаминација или дифузија на нечистотии.
Контактирајте не денес за да дознаете повеќе за нашата високотемпературна SiC облога за комори за гравирање со плазма.


Параметри на високотемпературна SiC облога за плазма офорт комори

Главни спецификации на CVD-SIC облогата

Својства на SiC-CVD

Кристална структура

Фаза FCC β

Густина

g/cm ³

3.21

Цврстина

Викерс цврстина

2500

Големина на зрно

¼ м

2~10

Хемиска чистота

%

99.99995

Топлински капацитет

J·kg-1·K-1

640

Температура на сублимација

2700

Фелексурална сила

MPa (RT 4-точка)

415

Модул на Јанг

Gpa (свиткување од 4 точки, 1300)

430

Термичка експанзија (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Топлинска спроводливост

(W/mK)

300


Карактеристики на високотемпературна SiC облога за комори за офорт со плазма

- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина

Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен на високи температури до 1600°C

Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа под услови на хлорирање со висока температура.

Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.

Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.

- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас

- Гарантира рамномерност на термичкиот профил

- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии





Жешки тагови: Високотемпературен SiC облога за комори за плазма офорт, Кина, производители, добавувачи, фабрички, приспособени, рефус, напредни, издржливи

Поврзана категорија

Испрати барање

Ве молиме слободно дајте го вашето барање во формата подолу. Ќе ви одговориме за 24 часа.