Високотемпературна SiC облога за комори за офорт со плазма

Кога станува збор за процесите на ракување со нафора, како што се епитаксијата и MOCVD, високотемпературната SiC облога на Semicorex за плазма еч комори е најдобриот избор. Нашите носачи обезбедуваат супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност и издржлива хемиска отпорност благодарение на нашата фина обвивка од SiC кристал.

Испрати барање

Опис на производот

Во Semicorex, ја разбираме важноста на висококвалитетната опрема за ракување со нафора. Затоа, нашата високотемпературна SiC обвивка за плазма коморите за гравирање е дизајнирана специјално за средини за чистење со висока температура и сурово хемиско чистење. Нашите носачи обезбедуваат дури и термички профили, модели на ламинарен проток на гас и спречуваат контаминација или дифузија на нечистотии.
Контактирајте со нас денес за да дознаете повеќе за нашата високотемпературна SiC облога за комори за гравирање со плазма.

Параметри на високотемпературна SiC облога за плазма офорт комори

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на високотемпературна SiC облога за плазма офорт комори

- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина

Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен на високи температури до 1600°C

Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа во услови на хлорирање со висока температура.

Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.

Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.

- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас

- Гарантира рамномерност на термичкиот профил

- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии

Жешки тагови: Високотемпературен SiC облога за комори за плазма офорт, Кина, производители, добавувачи, фабрички, приспособени, рефус, напредни, издржливи

Ознака на производот

Поврзана категорија