ICP држачот за нафора за офорт на Semicorex е совршено решение за процеси на ракување со нафора со висока температура, како што се епитаксија и MOCVD. Со стабилна отпорност на оксидација на висока температура до 1600°C, нашите носачи обезбедуваат рамномерни термички профили, модели на ламинарен проток на гас и спречуваат контаминација или дифузија на нечистотии.
Барате доверлив добавувач на носачи на нафора за вашата опрема за епитакси? Не гледајте подалеку од Semicorex. Нашиот држач за нафора за офорт ICP е дизајниран специјално за средини за чистење со висока температура и сурово хемиско чистење. Со префинет SiC кристален слој, нашите носачи обезбедуваат супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност и издржлива хемиска отпорност.
Нашиот држач за нафора за офорт ICP е дизајниран да го постигне најдобриот ламинарен проток на гас, обезбедувајќи рамномерност на термичкиот профил. Ова помага да се спречи каква било контаминација или дифузија на нечистотии, обезбедувајќи висококвалитетен епитаксијален раст на чипот на нафора.
Контактирајте не денес за да дознаете повеќе за нашиот држач за нафора за офортирање ICP.
Параметри на држач за нафора за офорт на ICP
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на држач за нафора за офорт на ICP
- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен на високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа под услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии