Силикон карбид обложениот чувствител за индуктивно поврзана плазма (ICP) на Semicorex е специјално дизајниран за процеси на ракување со нафора со висока температура, како што се епитаксии и MOCVD. Со стабилна отпорност на оксидација на висока температура до 1600°C, нашите носачи обезбедуваат рамномерни термички профили, ламинарен проток на гасови и спречуваат контаминација или дифузија на нечистотии.
Ви треба носач на нафора што може да се справи со високи температури, сурови хемиски средини? Не гледајте подалеку од силикон карбид обложениот чувствител на Semicorex за индуктивно-споена плазма (ICP). Нашите носачи имаат префинет SiC кристален слој кој обезбедува супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност и издржлива хемиска отпорност.
Контактирајте со нас денес за да дознаете повеќе за нашиот SiC чувствител за индуктивно-споена плазма (ICP).
Параметри на сусцептор за индуктивно-споена плазма (ICP)
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
Фаза FCC β |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
¼ м |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J·kg-1·K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување од 4 точки, 1300) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на силициум карбид обложен чувствител за индуктивно-споена плазма (ICP)
- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен на високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа под услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии