SiC обложен графит сусцептор за MOCVD

Semicorex е голем производител и снабдувач на силикон карбид обложен графит сусцептор во Кина. Се фокусираме на полупроводничките индустрии како што се слоевите на силициум карбид и епитаксичните полупроводници. Нашиот SiC обложен графит сусцептор за MOCVD има добра ценовна предност и покрива многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер.

Испрати барање

Опис на производот

Semicorex SiC обложен графит сусцептор за MOCVD е носач на графит обложен со силикон карбид со висока чистота, кој во процесот се користи за растење на епиксијалниот слој на чипот на нафора. Тоа е централната плоча во MOCVD, во форма на запчаник или прстен. SiC обложен графит сусцептор за MOCVD има висока отпорност на топлина и корозија, што има голема стабилност во екстремна средина.
Во Semicorex, ние сме посветени на обезбедување производи и услуги со висок квалитет на нашите клиенти. Ние ги користиме само најдобрите материјали, а нашите производи се дизајнирани да ги задоволат највисоките стандарди за квалитет и перформанси. Нашиот SiC обложен графит сусцептор за MOCVD не е исклучок. Контактирајте не денес за да дознаете повеќе за тоа како можеме да ви помогнеме со вашите потреби за обработка на полупроводнички обланди.

Параметри на SiC обложен графит сусцептор за MOCVD

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на SiC обложен графит сусцептор за MOCVD

- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа под услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии