Силициум карбид премаз од графит сусцептор за MOCVD

Semicorex е доверлив добавувач и производител на графит сензор за облога од силициум карбид за MOCVD. Нашиот производ е специјално дизајниран за да ги задоволи потребите на индустријата за полупроводници за одгледување на епитаксијалниот слој на чипот на нафора. Производот се користи како централна плоча во MOCVD, со запчаник или дизајн во облик на прстен. Има висока отпорност на топлина и корозија, што го прави идеален за употреба во екстремни средини.

Испрати барање

Опис на производот

Нашиот графит со облога од силициум карбид за MOCVD има неколку клучни карактеристики што го прават да се издвојува од конкуренцијата. Обезбедува обложување на целата површина, избегнувајќи лупење и има отпорност на оксидација на висока температура, обезбедувајќи стабилност дури и при високи температури до 1600°C. Производот е направен со висока чистота преку CVD хемиско таложење на пареа во услови на хлорирање на висока температура. Има густа површина со фини честички, што го прави високо отпорен на корозија од киселина, алкали, сол и органски реагенси.
Нашиот графитен сензор за премачкување силициум карбид за MOCVD е дизајниран да го постигне најдобриот модел на ламинарен проток на гас, обезбедувајќи рамномерност на термичкиот профил. Спречува каква било контаминација или дифузија на нечистотии, обезбедувајќи висококвалитетен епитаксијален раст на чипот на нафора.

Параметри на силициум карбид премачкување графит сусцептор за MOCVD

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на силициум карбид премачкување графит сусцептор за MOCVD

- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен на високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа во услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии

Жешки тагови: Силиконски карбид премачкување графит сусцептор за MOCVD, Кина, производители, добавувачи, фабрички, приспособени, рефус, напредни, издржливи

Ознака на производот

Поврзана категорија