Послужавник за графит обложен со SiC

Како примарна компонента на епитаксијалната опрема, наПослужавник за графит обложен со SiC, директно влијае на ефикасноста на производството, униформноста и стапката на дефекти на растот на епитаксијалниот слој.    

Преку прочистување на графит, прецизна обработка и третман со чистење, површината на графитната подлога може да постигне одлична плошност и мазност, успешно избегнувајќи го ризикот од контаминација со честички. Преку хемиско таложење на пареа, површината на графитната подлога е подложена на хемиска реакција со реактивниот гас, генерирајќи густа, без пори и рамномерно густа обвивка од силициум карбид (SiC). Од подготовка на подлогата до обработка на облогата, целиот производствен процес се изведува во чиста соба од класа 100, која ги задоволува стандардите за чистота погодни за полупроводници.

Графитниот послужавник обложен со SiC, кој е изработен од графит со висока чистота со ниска нечистотија и SiC материјали, има одлична топлинска спроводливост и низок коефициент на термичка експанзија. Тоа не само што овозможува графитната фиока обложена со SiC да пренесува топлина брзо и рамномерно за да го подобри квалитетот на растот на епитаксијалниот слој, туку и ефикасно го намалува ризикот од опаѓање или пукање на облогата поради термички стрес. Покрај тоа, униформата и густа облога на SiC е отпорна на високи температури, оксидација и корозија, обезбедувајќи стабилна работа долго време под услови на висока температура и корозивен гас.

Графитната фиока обложена со SiC има поголема компатибилност со опремата за хемиско таложење на пареа од метал-орга (MOCVD). Тој е прецизен димензиониран и дизајниран да се приспособи на различните параметри на процесот и барањата за опрема. Semicorex секогаш инсистира да нуди професионални приспособени услуги на нашите ценети клиенти за прецизно да ги задоволат нивните барања за различни големини, дебелини на облогата и грубост на површината на фиоката со графит обложена со SiC.