Компонентата на ICP обложена со SiC на Semicorex е дизајнирана специјално за процеси на ракување со нафора со висока температура, како што се епитаксии и MOCVD. Со префинет SiC кристален слој, нашите носачи обезбедуваат супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност и издржлива хемиска отпорност.
ICP компонентата обложена со SiC на Semicorex е најдобриот избор за процеси на ракување со обланди кои бараат висока температура и хемиска отпорност. Нашите носачи обезбедуваат дури и термички профили, модели на ламинарен проток на гас и спречуваат контаминација или дифузија на нечистотии благодарение на нашиот фин SiC кристал. Со префинет SiC кристален слој, нашите носачи обезбедуваат супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност и издржлива хемиска отпорност.
Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување висококвалитетни, економични производи за нашите клиенти. Нашата ICP компонента обложена со SiC има предност во цената и се извезува на многу европски и американски пазари. Наша цел е да бидеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со постојан квалитет и исклучителна услуга за клиентите.
Контактирајте не денес за да дознаете повеќе за нашата компонента ICP обложена со SiC.
Параметри на ICP компонента обложена со SiC
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
Фаза FCC β |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
¼ м |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J·kg-1·K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на ICP компонентата обложена со SiC
- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен на високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа во услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии