Носачи на обложени нафта

Носачи на нафта со Semicorex SIC се напредни компоненти кои поддржуваат нафора за процеси на висока температура во апликации за полупроводници, како што се епитаксијален раст, дифузија и CVD. Носачите обезбедуваат структурни придобивки од графит со висока чистота во комбинација со максимални придобивки од површината со употреба на густа и униформаSic облогаЗа оптимална термичка стабилност, хемиска отпорност и механичка јачина под тешки услови на обработка.

Графитско јадро со висока чистота за оптимална термичка спроводливост

Носачите на обложени нафта SIC се материјал за подлога на ултра фино зрно, графит со висока чистота. Тој е ефикасен термички спроводник, како лесен и машински, може да се фабрикува во сложени геометрии што се потребни од уникатната големина на нафта и факторите на процеси. Графит нуди униформно загревање на површината на нафтата со која се ограничува појавата на термички градиенти и дефекти на термичка обработка.

Густа SIC облога за заштита на површината и компатибилност на процесите

Графитскиот носач е обложен со висока чистота, CVD силиконски карбид. СИЦ облогата обезбедува непропустлива, без пори без заштита од корозија, оксидација и загадување на гас од видови како што се водород, хлор и силан. Крајниот резултат е ниско-партикулиран, тежок носач кој не ја деградира или губи димензионалната стабилност, да избере да подлежи на бројни термички циклуси и претставува значително намален потенцијал за загадување на нафта.

Придобивки и клучни карактеристики

Термичка отпорност: SIC обложувањата се стабилни на температури над 1600 ° C, што е оптимизирано за епитаксијата на висока температура и потребите за дифузија.

Одличен отпорен на хемикалии: ги издржува сите корозивни процесни гасови и хемикалии за чистење и овозможува подолг живот и помалку застој.

Ниско производство на честички: површината на SIC го минимизира пролевањето на флацирање и честички и ја чисти процесот на животната средина што е од витално значење за приносот на уредот.

Контрола на димензијата: Точно е инженерско да се затворат толеранциите за да се обезбеди униформа поддршка на нафта за да може автоматски да се постапува со нафори.

Намалување на трошоците: Подолгите циклуси на живот и пониските потреби за одржување обезбедуваат пониска вкупна цена на сопственост (TCO) од традиционалните графит или голи носители.

Апликации:

Носачите на нафта со SIC се широко користени во производството на полупроводници на моќност, сложени полупроводници (како што се GAN, Sic), MEMS, LED диоди и други уреди за кои е потребна обработка на висока температура во агресивни хемиски средини. Тие се особено неопходни кај епитаксијалните реактори, каде површинската чистота, издржливоста и термичката униформност директно влијаат на квалитетот на нафтата и ефикасноста на производството.

Прилагодување и контрола на квалитетот

SemicorexSIC обложенаНосачите на нафта се произведуваат под строги протоколи за контрола на квалитетот. Исто така, имаме флексибилност со стандардни големини и конфигурации и можеме да прилагодиме решенија за инженери кои ги исполнуваат барањата на клиентите. Без разлика дали имате 4-инчен или 12-инчен формат на нафора, можеме да ги оптимизираме носачите на нафора за хоризонтални или вертикални реактори, обработка на серија или единечни нафори и специфични рецепти за епитакси.