1x2" чувствителни нафора за графит

Во производството на полупроводнички нафора, епитаксиалниот слој е потребно да се одгледува на подлогата од обланда за последователно производство на полупроводнички уреди. Бидејќи процесот на епитаксијален раст е многу чувствителен на температурни флуктуации и контаминација, изборот на сигурнинафора чувствителнисе критично важни. Како незаменливи потпорни делови во епитаксијалниот процес на обланда, прецизноста на обработката, способноста за термичко управување и перформансите на отпорност на контаминација се клучни фактори за постигнување на висококвалитетен епитаксијален раст на обландата.

Функциите на Semicorex 1x2" сензори за графитни обланди

Направени од ултра фино зрно, графит со висока чистота како нивна матрица со густа облога од силициум карбид преку специјални процеси, сензорите за графитни обланди Semicorex 1x2" ги обезбедуваат следните функции:

1.Сигурно и застоено држење

Семикорекс 1x2"графитсензорите за нафора се карактеризираат со прецизна обработка и обработка, обезбедувајќи исклучителна плошност на површината и прецизност на димензиите. Ова осигурува дека тие се цврсто прицврстени во соодветна положба и обезбедува стабилна, рамна платформа за поддршка за епитаксијален раст на нафора.

2.Прецизна униформа дистрибуција на топлина

Со одличната топлинска спроводливост на материјалите од графит и SiC, сенцепторите за графитни обланди Semicorex 1x2" обезбедуваат брза и рамномерна дистрибуција на топлина низ полупроводничката супстанција. Со минимизирање на температурните градиенти, сензорите за графитни обланди Semicorex 1x2 можат ефикасно да ги избегнат проблемите како нерамномерен епитаксијален квалитет и концентрација на стрес.

Предностите на облогата со силициум карбид Semicorex

1.Супериорна отпорност на корозија

Покриени со густа облога од силициум карбид, сензорите за графитни обланди Semicorex 1x2" се ефективно отпорни на повеќето хемикалии, што ги прави погодни за примена во висококорозивни работни услови каде што материјалот е често изложен на корозивни гасови и хемиски пареи.

2. Ниско пролевање на честички

Семикорексоблога од силициум карбидима висока јачина на поврзување со графитната матрица, што може значително да го избегне ризикот од контаминација на подлогата поради одвојување на облогата поради корозија и испуштање на честички предизвикани од средини со висока корозија.

3.Сигурен работен век

Иако графитните матрици покажуваат одлична термичка стабилност и механичка цврстина, тие се склони кон корозија и пулверизација при работни услови на епитаксијален процес, во голема мера го скратуваат животниот век на необложените графитни матрици. Со целосно инкапсулирање на графитните матрици со густи SiC облоги, нашите 1×2" сензори за графитни обланди постигнуваат супериорна и сигурна издржливост.

Податоци за материјалот на Semicorex SiC Coating