Керамички чак од алуминиум нитрид

Керамичкиот чак од алуминиум нитрид претставува врвно решение за обработка на полупроводнички нафора, специјално дизајнирано за безбедно да ги држи наполитанките на место во различни фази на производство. Работејќи како електростатска чак (ESC), овој иновативен уред ги користи исклучителните својства на керамиката од алуминиум нитрид за да обезбеди прецизно и сигурно задржување на нафора.

Семикорекс алуминиум нитрид керамички чак користи електростатички сили за цврсто да ја зафати нафората на неговата површина. Ова се постигнува преку прецизно дизајнирана плоча со интегрални електроди, кои се стратешки пристрасни со висок напон. Како резултат на тоа, се воспоставува електростатска сила на задржување помеѓу плочата и нафората, ефикасно ја имобилизира нафората на место во текот на фазите на обработка.

Една од истакнатите карактеристики на керамичкиот чак од алуминиум нитрид е неговата извонредна комбинација на висока топлинска спроводливост и изолациски својства. Овој уникатен спој на карактеристики го прави идеален избор на материјал за ESC апликации. Високата топлинска спроводливост обезбедува ефикасна дисипација на топлина, клучна за одржување на рамномерна распределба на температурата низ обландата за време на обработката. Истовремено, неговите исклучителни изолациски својства обезбедуваат електрична изолација помеѓу чак и нафора, минимизирајќи го ризикот од електрични пречки или оштетување на чувствителните полупроводнички компоненти.

Керамичкиот чак од алуминиум нитрид нуди неколку предности во однос на традиционалните материјали за чак. Неговата робусна конструкција обезбедува долготрајна издржливост, способна да ги издржи ригорозните барања на средини за производство на полупроводници. Дополнително, неговата компатибилност со процесите на висока температура и отпорноста на термичка експанзија ја прават неопходна алатка за постигнување конзистентни и висококвалитетни резултати од обработката на нафора.