Електростатски чак ESC

Semicorex Electrostatic Chuck ESC работи на принципот на електростатско адхезија, користејќи високонапонска директна струја (DC) применета на неговиот диелектричен керамички слој. Оваа технологија овозможува безбедно прицврстување на наполитанки или други материјали за време на обработката, обезбедувајќи и стабилност и прецизност во различни фази на изработка.

Кога ќе се примени висок DC напон на чак, наполнетите јони во керамичкиот диелектричен слој мигрираат и се акумулираат на неговата површина. Ова создава силно електростатско поле помеѓу чакот и производот што треба да се обработи. Создадената електростатска привлечност е доволно цврста за да ја држи нафората на место, осигурувајќи дека таа останува неподвижна дури и за време на сложени и високопрецизни операции. Ова сигурно држење е од клучно значење, бидејќи помага да се намалат микро-движењата и вибрациите, што може да го загрози квалитетот и интегритетот на обработените наполитанки. Способноста за прицврстување на наполитанки со минимален механички контакт, исто така, спречува физичко оштетување, што е посебна предност во однос на традиционалните методи на стегање.

Електростатскиот чак ESC од типот J-R е опремен со вградени електроди кои се неопходни за создавање на оваа електростатска адхезија. Овие електроди се поставени во чак за рамномерно да ја распределат електростатската сила низ површината на обландата или другите материјали што се обработуваат. Оваа рамномерна дистрибуција обезбедува постојан притисок, кој е неопходен за одржување на униформноста за време на сложени процеси како што се офорт, имплантација на јони и таложење. Прецизната адхезија што ја нуди електростатскиот чак ESC му овозможува да се прилагоди на бараните спецификации на модерното производство на полупроводници.

Покрај неговата примарна функција на адхезија, Електростатскиот чак ESC се одликува со софистициран систем за контрола на температурата. Чак вклучува интегрирани грејни елементи кои се дизајнирани да ја регулираат температурата на производот што се обработува. Контролата на температурата е клучен фактор во производството на полупроводници, бидејќи дури и малите температурни варијации можат да влијаат на исходот на процесот. Електростатскиот чак ESC нуди повеќезонска контрола на температурата, овозможувајќи различни делови од обландата да се загреваат или ладат независно. Ова осигурува дека температурата постојано се одржува низ целата површина на обландата, промовирајќи униформни резултати од обработката и намалувајќи го ризикот од термичко оштетување или искривување.

Употребата на материјали со висока чистота во конструкцијата на Електростатскиот чак ESC е уште една забележителна карактеристика. Материјалите избрани за оваа чак се дизајнирани да ја минимизираат контаминацијата со честички, што е критична грижа во производството на полупроводници. Дури и малите честички можат да предизвикаат дефекти во микроструктурите што се произведуваат, што доведува до намалени приноси и потенцијален дефект на производот. Со користење на материјали со висока чистота, Електростатскиот Chuck ESC го намалува ризикот од внесување загадувачи во околината за обработка, со што се поддржува висококвалитетното производство.

Електростатскиот чак ESC е отпорен на ерозија на плазмата. Во многу полупроводнички процеси, особено при офорт и таложење, чакот е изложен на реактивни плазма средини. Со текот на времето, оваа изложеност може да ги деградира материјалите што се користат во чак, што влијае на неговите перформанси и животниот век. Електростатскиот Chuck ESC е специјално дизајниран да се спротивстави на ерозија на плазмата, овозможувајќи му да го задржи својот структурен интегритет и перформанси дури и во тешки средини за обработка. Оваа издржливост значи подолг работен век, намалувајќи ја потребата за чести замени и минимизирање на времето на застој во производната линија.

Механичките својства на Електростатскиот чак ESC се исто така од критично значење. Чак е произведен со екстремно тесни толеранции, осигурувајќи дека ја одржува прецизната форма и димензии потребни за неговите специфични апликации. Се користат техники за обработка со висока прецизност за да се постигне потребната плошност и мазност на површината, кои се од суштинско значење за обезбедување рамномерна електростатска адхезија и минимизирање на ризикот од оштетување на деликатните наполитанки. Механичката сила на чакот е подеднакво импресивна, што му овозможува да ги издржи физичките напрегања наметнати за време на процесите на висока температура и висок притисок без да се деформира или да ја изгуби способноста безбедно да ја држи нафората.