Алуминиум нитрид електростатски чаши

Електростатските чаши од алуминиум нитрид користат електростатички сили за безбедно држење на наполитанки за време на различни процеси на производство на полупроводници. Овој метод ја елиминира потребата од механички стеги или вакуумски системи, намалувајќи го ризикот од создавање на честички и механички стрес на деликатните наполитанки. Една од клучните придобивки на алуминиум нитридните електростатски чак е нивната способност да генерираат високо униформа и стабилна електростатска сила низ целата површина на обландата. Ова обезбедува постојан контакт и спречува лизгање или деформација на обландата за време на обработката, што доведува до подобрена униформност во депонираните филмови, гравираните карактеристики и другите критични параметри. Оваа униформа сила на стегање, исто така, го минимизира изобличувањето на обландата, што доведува до подобри перформанси и принос на уредот.

Што се однесува до неговите термички својства, високата топлинска спроводливост на алуминиум нитридните електростатски чак овозможува ефикасна дисипација на топлина за време на процесите на висока температура, спречувајќи термички стрес и обезбедувајќи рамномерна распределба на температурата низ обландата. Ова е критично за апликации како брза термичка обработка и плазма офорт, каде локализираното загревање може негативно да влијае на перформансите на уредот. Плус, процесот на производство на полупроводници често вклучува брзи температурни транзиции. Високата отпорност на термички шок на алуминиумските нитридни електростатски чак му овозможува да ги издржи овие ненадејни температурни промени без деградација или пукање, обезбедувајќи долговечност и доверливи перформанси на чакот со продолжена употреба. Уште повеќе, AlN поседува коефициент на термичка експанзија (CTE) тесно усогласен со оној на силиконските наполитанки. Оваа компатибилност го минимизира стресот предизвикан на интерфејсот на обланда-чак за време на термички циклус, спречувајќи лак на обланда, изобличување и потенцијални дефекти кои можат да влијаат на приносот и перформансите на уредот.

AlN е механички робустен материјал со висока цврстина на виткање и цврстина на фрактура. Оваа вродена јачина им овозможува на алуминиумските нитридни електростатски чаши да ги издржат механичките напрегања што се среќаваат при производството со голем волумен, обезбедувајќи постојани перформанси и продолжен работен век. Од друга страна, AlN покажува одлична отпорност на широк опсег на хемикалии и плазми кои вообичаено се користат во полупроводничка обработка. Исто така, покажува супериорна отпорност на оксидација дури и при покачени температури, обезбедувајќи ја површината на алуминиум нитридниот електростатски чак да остане недопрена и незагадувачка во текот на нејзиниот работен век.

Семикорекс алуминиум нитрид електростатските чак се достапни во различни големини и дебелини за да се приспособат на различни дијаметри на нафора и барања за процесот. Оваа приспособливост ги прави погодни за широк опсег на апликации за производство на полупроводници, од истражување и развој до производство со голем обем.