MOCVD Planet Susceptor за полупроводници

Semicorex е доверливо име во индустријата за полупроводници, обезбедувајќи висококвалитетен MOCVD Planet Susceptor за полупроводници. Нашиот производ е дизајниран да ги задоволи специфичните потреби на производителите на полупроводници кои бараат носач што може да даде одлични перформанси, стабилност и издржливост. Контактирајте не денес за да дознаете повеќе за нашиот производ и како можеме да ви помогнеме со вашите потреби за производство на полупроводници.

Испрати барање

Опис на производот

Нашиот MOCVD Planet Susceptor за полупроводници се карактеризира со висока температурна отпорност на оксидација, обезбедувајќи ја неговата стабилност при високи температури до 1600°C. Исто така е многу чист, направен со CVD хемиско таложење на пареа под услови на хлорирање на висока температура, обезбедувајќи униформност и конзистентност на производот, дури и термички профил и шема на ламинарен проток на гас.
Контактирајте не денес за да дознаете повеќе за нашиот MOCVD Planet Susceptor за полупроводници.

Параметри на MOCVD Planet Susceptor за полупроводници

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	Фаза FCC Î²
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	¼ м	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J·kg-1·K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на SiC обложен графит сусцептор за MOCVD

- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен на високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа во услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии