Semicorex MOCVD носачи на нафора за полупроводничка индустрија е врвен носач дизајниран за употреба во индустријата за полупроводници. Неговиот материјал со висока чистота обезбедува рамномерен термички профил и шема на ламинарен проток на гас, обезбедувајќи висококвалитетни наполитанки.
Нашите MOCVD носачи на нафора за полупроводничка индустрија се многу чисти, направени со CVD хемиско таложење на пареа под услови на хлорирање на висока температура, обезбедувајќи униформност и конзистентност на производот. Тој е исто така високо отпорен на корозија, со густа површина и фини честички, што го прави отпорен на киселина, алкали, сол и органски реагенси. Неговата отпорност на оксидација на висока температура обезбедува стабилност при високи температури до 1600°C.
Контактирајте не денес за да дознаете повеќе за нашите MOCVD носачи на нафора за полупроводничка индустрија.
Параметри на MOCVD носачи на нафора за полупроводничка индустрија
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на SiC обложен графит сусцептор за MOCVD
- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен на високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа под услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии