Semicorex PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor е специјално дизајнирана за високотемпературни и груби средини за хемиско чистење потребни за епитаксијален раст и процеси на ракување со нафора. Нашата ултра-чиста носачка плоча за офорт PSS за полупроводници е дизајнирана да поддржува наполитанки за време на фазите на таложење на тенок филм како што се MOCVD и епитаксии, палачинки или сателитски платформи. Нашиот носач обложен со SiC има висока отпорност на топлина и корозија, одлични својства за дистрибуција на топлина и висока топлинска спроводливост. Ние обезбедуваме исплатливи решенија за нашите клиенти, а нашите производи покриваат многу европски и американски пазари. Семикорекс со нетрпение очекува да биде ваш долгорочен партнер во Кина.
Плочата носач за офорт PSS за полупроводници од Semicorex е идеално решение за фази на таложење на тенок филм како MOCVD, сензори за епитаксии, палачинки или сателитски платформи и обработка на обланда, како што е офорт. Нашиот ултра-чист носач за графит е дизајниран да поддржува наполитанки и да издржи сурово хемиско чистење и средини со висока температура. Носачот обложен со SiC има висока отпорност на топлина и корозија, одлични својства за дистрибуција на топлина и висока топлинска спроводливост. Нашите производи се исплатливи и имаат добра ценовна предност.
Контактирајте нè денес за да дознаете повеќе за нашата плочка за носач за офорт PSS за полупроводници.
Параметри на носач за офорт PSS за полупроводник
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на ПСС офорт за носечка плоча за полупроводници
- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен на високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа под услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии