Semicorex PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor е специјално дизајнирана за високотемпературни и груби средини за хемиско чистење потребни за епитаксијален раст и процеси на ракување со нафора. Нашата ултра-чиста носачка плоча за офорт PSS за полупроводници е дизајнирана да поддржува наполитанки за време на фазите на таложење на тенок филм како што се MOCVD и епитаксии, палачинки или сателитски платформи. Нашиот носач обложен со SiC има висока отпорност на топлина и корозија, одлични својства за дистрибуција на топлина и висока топлинска спроводливост. Ние обезбедуваме исплатливи решенија за нашите клиенти, а нашите производи покриваат многу европски и американски пазари. Семикорекс со нетрпение очекува да биде ваш долгорочен партнер во Кина.
Плочата носач за офорт PSS за полупроводници од Semicorex е идеално решение за фази на таложење на тенок филм како MOCVD, сензори за епитаксии, палачинки или сателитски платформи и обработка на обланда, како што е офорт. Нашиот ултра-чист носач за графит е дизајниран да поддржува наполитанки и да издржи сурово хемиско чистење и средини со висока температура. Носачот обложен со SiC има висока отпорност на топлина и корозија, одлични својства за дистрибуција на топлина и висока топлинска спроводливост. Нашите производи се исплатливи и имаат добра ценовна предност.
Контактирајте нè денес за да дознаете повеќе за нашата плочка за носач за офорт PSS за полупроводници.
Параметри на носач за офорт PSS за полупроводник
|
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
|
Својства на SiC-CVD |
||
|
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
|
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
|
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
|
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
|
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
|
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
|
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
|
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
|
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на ПСС офорт за носечка плоча за полупроводници
- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен на високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа под услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии






