Силиконската офорт на Semicorex за апликации за офорт PSS е висококвалитетен, ултра чист носач на графит кој е специјално дизајниран за епитаксијален раст и процеси на ракување со обланда. Нашиот носач може да издржи сурови средини, високи температури и грубо хемиско чистење. Силиконската плочка за офорт за PSS апликации има одлични својства за дистрибуција на топлина, висока топлинска спроводливост и е исплатлива. Нашите производи се широко користени на многу европски и американски пазари и со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Силиконската офорт на Semicorex за апликации за офорт PSS е конструирана за најпребирливите апликации за опрема за епитаксија. Нашиот ултра-чист носач на графит може да издржи сурови средини, високи температури и грубо хемиско чистење. Носачот обложен со SiC има одлични својства за дистрибуција на топлина, висока топлинска спроводливост и е исплатлив.
Параметри на силиконската офорт за апликации за офорт PSS
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на Silicon Etch Plate за апликации за офорт PSS
- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа во услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии