Носач за офорт со PSS обложен со SiC

Носачите на нафора што се користат во епиксијалниот раст и обработката на обланда мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење. Semicorex SiC обложен носач за офорт PSS дизајниран специјално за овие тешки апликации за опрема за епитаксија. Нашите производи имаат добра ценовна предност и покриваат многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.

Испрати барање

Опис на производот

Не само за фазите на таложење на тенок филм, како што се епитаксија или MOCVD, или обработка на обланда, како што е офорт, Semicorex обезбедува ултра чист носач за офорт со SiC обложен PSS кој се користи за поддршка на наполитанки. Во плазма офорт или сув офорт, оваа опрема, епитаксии, палачинки или сателитски платформи за MOCVD, прво се подложени на околината за таложење, така што има висока отпорност на топлина и корозија. Носачот за офорт PSS обложен со SiC има и висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

Носачите за офорт со PSS (Подлога од сафир со шаблони) обложени со SiC се користат во изработката на уредите со LED (диоди што емитуваат светлина). Носачот PSS etch служи како подлога за растење на тенок филм од галиум нитрид (GaN) кој ја формира LED структурата. Потоа, носачот на офорт PSS се отстранува од структурата на LED со помош на процес на влажно офорт, оставајќи зад себе површина со шаблони што ја подобрува ефикасноста на екстракција на светлина на ЛЕР.

Параметри на носачот за офорт PSS обложен со SiC

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на носачот за офорт со PSS обложен со SiC со висока чистота

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.

- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.

- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно подобрување на јачината на поврзување за да се спречи пукање и раслојување.

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.