Како професионално производство, би сакале да ви обезбедиме полупроводнички компоненти. Semicorex е ваш партнер за подобрување во полупроводничката обработка. Нашите премази од силициум карбид се густи, високи температури и хемиски отпорни, кои често се користат во целиот циклус на производство на полупроводници, вклучително и обработка на полупроводнички нафора и нафора и производство на полупроводници.
Компонентите обложени со SiC со висока чистота се клучни за процесите во полупроводниците. Нашата понуда се движи од графитни потрошни материјали за жешки зони за растење на кристали (грејачи, сензори за садници, изолација), до високопрецизни графитни компоненти за опрема за обработка на нафора, како што се графитни сенцептори обложени со силициум карбид за Epitaxy или MOCVD.
Предности за полупроводнички процеси
Фазите на таложење на тенок филм, како што се епитаксија или MOCVD, или обработка на обланда, како што е офорт или јонски имплант, мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење. Semicorex обезбедува графитна конструкција обложена со силициум карбид (SiC) со висока чистота, обезбедува супериорна отпорност на топлина и издржлива хемиска отпорност, дури и термичка униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи.
Капаци на комората →
Капаците на комората што се користат за раст на кристали и обработка на обланда мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење.
Краен ефектор →
Крајниот ефектор е раката на роботот која ги движи полупроводничките наполитанки помеѓу позициите во опремата за обработка на нафора и носачите.
Влезни прстени →
Влезен прстен за гас обложен со SiC со опрема MOCVD Растот на соединението има висока отпорност на топлина и корозија, што има голема стабилност во екстремна средина.
Фокус прстен →
Semicorex го снабдува Фокусниот прстен обложен со силикон карбид е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Чак за нафора →
Семикорекс ултра рамните керамички вакуумски нафора се обложени со висока чистота SiC кои се користат во процесот на ракување со нафора.
Semicorex SiC Heating Filament е графитен грејач обложен со силициум карбид дизајниран за загревање на нафора во напредно производство на полупроводници. Изборот на Semicorex значи избор на доверлив партнер кој обезбедува материјали со висока чистота, прецизно прилагодување и долготрајни перформанси за најсложените термички процеси.*
Прочитај повеќеИспрати барањеСемикорекс силициум карбид се специјално дизајнирани за опрема за фотолитографија и имаат повеќе предности како што се висока прецизност, ултра мала тежина, висока вкочанетост, низок коефициент на термичка експанзија и одлична отпорност на абење.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SiC Furnace Tubes се цевки со силициум карбид со висока чистота, произведени со напредна технологија за 3D печатење, дизајнирани за фотоволтаични процеси со висока температура. Semicorex обезбедува врвни решенија за SiC со супериорна сила, стабилност и доверливост на кои им верува соларната индустрија ширум светот.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SiC Paddles се конзолни краци со силициум карбид со висока чистота, дизајнирани за транспорт на обланди во печки за оксидација и дифузија со висока температура над 1000℃. Изборот на Semicorex значи да се обезбеди исклучителен квалитет на материјалот, прецизно инженерство и долгорочна доверливост на кои им веруваат водечките фабрики за полупроводници.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SiC Focus Ring е компонента на прстен од силициум карбид со висока чистота, дизајнирана да ја оптимизира дистрибуцијата на плазмата и униформноста на процесот на обланда во производството на полупроводници. Изборот на Semicorex значи обезбедување постојан квалитет, напредно инженерство на материјали и доверливи перформанси на кои им веруваат водечките фабрики за полупроводници ширум светот.*
Прочитај повеќеИспрати барањеМелење на полу-нафора на нафора Чак е керамички диск направен од бела алумина со висока чистота, дизајнирана за мелење на работ на нафта во производството на полупроводници. Изборот на Semicorex обезбедува супериорен квалитет на материјалот, прецизно инженерство и сигурни перформанси кои ги поддржуваат најсложените околини за обработка на нафора.*
Прочитај повеќеИспрати барање