Како професионално производство, би сакале да ви обезбедиме полупроводнички компоненти. Semicorex е ваш партнер за подобрување во полупроводничката обработка. Нашите премази од силициум карбид се густи, високи температури и хемиски отпорни, кои често се користат во целиот циклус на производство на полупроводници, вклучително и обработка на полупроводнички нафора и нафора и производство на полупроводници.
Компонентите обложени со SiC со висока чистота се клучни за процесите во полупроводниците. Нашата понуда се движи од графитни потрошни материјали за жешки зони за растење на кристали (грејачи, сензори за садници, изолација), до високопрецизни графитни компоненти за опрема за обработка на нафора, како што се графитни сенцептори обложени со силициум карбид за Epitaxy или MOCVD.
Предности за полупроводнички процеси
Фазите на таложење на тенок филм, како што се епитаксија или MOCVD, или обработка на обланда, како што е офорт или јонски имплант, мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење. Semicorex обезбедува графитна конструкција обложена со силициум карбид (SiC) со висока чистота, обезбедува супериорна отпорност на топлина и издржлива хемиска отпорност, дури и термичка униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи.
Капаци на комората →
Капаците на комората што се користат за раст на кристали и обработка на обланда мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење.
Краен ефектор →
Крајниот ефектор е раката на роботот која ги движи полупроводничките наполитанки помеѓу позициите во опремата за обработка на нафора и носачите.
Влезни прстени →
Влезен прстен за гас обложен со SiC со опрема MOCVD Растот на соединението има висока отпорност на топлина и корозија, што има голема стабилност во екстремна средина.
Фокус прстен →
Semicorex го снабдува Фокусниот прстен обложен со силикон карбид е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Чак за нафора →
Семикорекс ултра рамните керамички вакуумски нафора се обложени со висока чистота SiC кои се користат во процесот на ракување со нафора.
Semicorex Silicon Pedestal Boat е 9N носач на нафора со ултра висока чистота, дизајниран за прецизна и стабилна поддршка на нафора во процесите на оксидација, дифузија и LPCVD на висока температура. Изберете Semicorex за неспоредлива чистота на материјалот, прецизна обработка и докажана сигурност*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex Silicon Injector е тубуларна компонента со ултра висока чистота, дизајнирана за прецизна и без загадување испорака на гас во процесите на таложење на полисиликонот LPCVD. Изберете Semicorex за водечка во индустријата чистота, прецизна обработка и докажана сигурност.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex Silicon Wafer Boat е носач со висока чистота дизајниран за полупроводнички печки со висока температура, поддржувајќи наполитанки за време на процесите на оксидација и редукција на 1200–1250 °C. Semicorex обезбедува супериорни производи, ултра чисти перформанси и сигурни резултати кои директно го подобруваат приносот на уредот.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex Silicon Shield Ring е силиконска компонента со висока чистота, дизајнирана за напредни системи за офорт со плазма, која служи и како заштитен штит и како помошна електрода. Semicorex обезбедува ултра чисти перформанси, стабилност на процесот и врвни резултати на офорт со прецизно дизајнирани полупроводнички компоненти.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SiC Ceramic Paddle е конзолна компонента со висока чистота, дизајнирана за полупроводнички печки со висока температура, првенствено се користи во процесите на оксидација и дифузија. Изборот на Semicorex значи да се добие пристап до напредни керамички решенија кои обезбедуваат исклучителна стабилност, чистота и издржливост за критичните апликации за ракување со нафора.*
Прочитај повеќеИспрати барањеДеловите за полумесечина обложени со Semicorex SiC се прецизно дизајнирани компоненти дизајнирани како суштински елементи на епитаксијалната опрема, каде што два делови во облик на полумесечина се комбинираат за да формираат комплетен склоп на јадрото. Изборот на Semicorex значи обезбедување сигурни, со висока чистота и издржливи решенија кои обезбедуваат стабилна поддршка на обландата и ефикасно спроведување на топлина за напредно производство на полупроводници.*
Прочитај повеќеИспрати барање