Брод со силиконски пиедестал

Семикорекс Силиконскиот пиедестален чамец е ултра-чист носач на нафора кој е дизајниран со висока чистота и прецизност за поддршка на процесите на полупроводници на високи температури како што се оксидација, дифузија и LPCVD (Хемиско таложење на пареа со низок притисок). Овој носач на нафора е направен од 9N (99,9999999%)силициум со висока чистотаза да се обезбеди исклучителна чистота, термички коефициент на стабилност на проширување и механичка прецизност за поддршка на обландата и доследна контрола на процесот во ултра чисти средини.

Бидејќи геометриите на полупроводничките уреди продолжуваат да се намалуваат, потребата за ултра чисти и термички компатибилни компоненти за ракување со обланда никогаш не била толку барана. Бродот со силиконски пиедестал одговара на овие барања со висока димензионална прецизност и неспоредлива чистота за да се користи во напредни системи на печки кои работат помеѓу 1100°C и 1250°C.

Структурата на силиконскиот брод може да се приспособи за да ги задоволи барањата на клиентите, вклучувајќи ја формата на шипката на жлебот, должината на забот на жлебот, обликот, аголот на навалување и вкупниот капацитет за полнење на нафора. Силиконските чамци со висока температура можат ефикасно да го намалат оштетувањето од контакт на силиконските наполитанки, подобрувајќи го приносот на процесот. Неговиот дизајн „кули без лизгање“ со високи температури поддржува наполитанки само на врвот на потпорниот заб. Во споредба со силициум карбид, силиконот е релативно помалку тврд, намалувајќи го механичкото оштетување на наполитанките, а со тоа го подобрува квалитетот на решетката и ефективно ги намалува трошоците за производство.

Бродот постамент е достапен вомонокристален или поликристален силициумда се отстранат ризиците од контаминација поврзани со несиликонски материјали. Платформата го дели истиот хемиски состав како активно користените наполитанки, што ги минимизира несаканите реакции или дифузијата на јони за време на процесите на висока температура. Хомогеноста на материјалот значително го намалува физичкиот идентитет на честичките и металните нечистотии за постојан висок квалитет на нафора и висок принос на уредот преку повторени производни циклуси.

Семикорекс силиконскиот подножје има прецизно дизајнирани слотови за обланда, комбинирани со вертикални потпорни структури, обезбедувајќи дека обландите остануваат совршено порамнети и распоредени за време на циклусот на загревање. Неговата димензионална стабилност е извонредна, осигурувајќи дека чамецот со пиедестал нема да се искривува, свиткува или поместува при екстремни температури, обезбедувајќи добра температура и дистрибуција на гас преку секоја обланда. Оваа димензионална стабилност има моментален, позитивен ефект врз униформноста на дебелината на филмот за време на оксидација и дифузија и обезбедува помал број на дефекти, како и подобра повторливост на процесот.

Примарната придобивка на чамецот со силиконски пиедестал се неговите оптимизирани механички и термички својства. Тврдоста на силициумот во споредба со SiC или кварцот ќе помогне да се намали микро-гребањето и создавањето на честички поради вибрациите или движењето на нафората при загреана експанзија. Ова е особено точно за наполитанките чувствителни на задната страна, каде што интегритетот на површината на обландата е од клучно значење за приносот и перформансите на уредот.

Бродот со пиедестал има добра топлинска спроводливост и низок коефициент на термичка експанзија што обезбедува карактеристики за пренос на топлина додека ја одржува формата и структурната цврстина со повеќекратни циклуси на греење и ладење. Цврстиот дизајн обезбедува и долг животен век со минимална деформација преку екстремни услови на печката.

Semicorex обезбедува сопствени дизајни за различни конфигурации на опрема, вклучувајќи дијаметар на обланда, број на отвори, висина на постаментот и варијации на геометријата. Секој производ се проверува за чистота, се мери димензионални и тест за топлинска спроводливост, сите за да се исполнат највисоките стандарди во процесот на производство на полупроводници.

Бродот со силиконски пиедестал е компатибилен со процесите на оксидација и дифузија, како и со апликации за LPCVD и жарење кои бараат ненадмината рамномерност на температурата и контрола на контаминацијата.