Брод со силиконски нафора

Semicorex може да ја прилагоди структурата на чамецот со силиконски нафора, вклучувајќи ја формата на шипката на жлебот, должината на забот на жлебот, обликот, аголот на навалување и вкупниот капацитет за полнење на нафора, и може да се произведува според барањата на клиентите. Силиконските чамци со висока температура можат ефикасно да го намалат оштетувањето од контакт на силиконските наполитанки и да го подобрат приносот на процесот. Неговиот дизајн „кули без лизгање“ со високи температури поддржува наполитанки само на врвот на потпорниот заб. Во споредба сосилициум карбид, силиконот има релативно ниска цврстина, што го намалува механичкото оштетување на наполитанките, а со тоа ја подобрува стапката на поминување на решетката и ефективно ги намалува трошоците за производство. Стопениот силиконски брод е составен од неколку делови: заби, основна плоча и горната плоча, кои се споени заедно. Ова ги намалува трошоците за производство. Во случај на делумно оштетување, оштетените делови може да се заменат без да се замени целиот силиконски брод, со што значително се намалуваат трошоците за сопственост при употреба. Покрај тоа, силиконскиот брод има голема горна граница за таложење на полисиликон, што може ефективно да ја намали фреквенцијата на опремата за PM и да го подобри производниот капацитет.

Semicorex Silicon Wafer Boat е иновативен, наменски дизајниран, носач на нафора. Специфично е создаден за обработка на печки со висока температура што се користи во индустријата за полупроводници, вклучувајќи процеси на оксидација и редукција на температури помеѓу 1200 и 1250 °C. Одликувајќи се со придобивки од перформансите кои не се достапни во материјалот од силициум карбид (SiC), Силиконскиот нафора дава предности поврзани со ригорозните процеси што ги бара производството на полупроводници. Прво, ултра високата чистота на силиконскиот материјал е значајна; всушност, насиликонски материјалпостигнува нивоа со ултра висока чистота од над 9N (99,9999999%), со што се обезбедува дека нема метални или туѓи нечистотии да ја контаминираат обработката на нафора. Ова е клучно за производство на најсовремени полупроводнички уреди каде што доверливоста на перформансите и приносот се силно под влијание на контаминацијата. Силиконскиот чамец со нафора обезбедува ултра чиста средина со високо ниво на чистота погодна за најнапредните индустриски барања за ракување со наполитанки изложени на многу високи температури за обработка на оксидација и редукција.

Друга придобивка одсиликонски материјале неговата пониска цврстина во споредба со материјалот SiC. SiC шипките или чамците се познати по цврстината и цврстината, но самото својство може да доведе до потешкотии при обработката на нафора. На високи температури, наполитанките ќе се микродвижат; тие малку ќе скокаат, малку ќе се поместат и ќе се искриват рабовите додека се внатре во чамецот. Поцврстиот, SiC материјал може да претставува поголем ризик од генерирање на честички или гребнатини на задната страна на нафората бидејќи својствата на обландата и чамецот се во интеракција под овие услови за обработка на висока температура.

Силиконскиот брод со нафора ја ублажува оваа загриженост со искористување на релативно мекиот карактер на силиконот во однос на SiC. Намалувањето на цврстината овозможува и помало триење и механички стрес кога обландите ќе дојдат во контакт со бродот за време на термичките циклуси. Како резултат на тоа, честичките се генерираат поретко и ризикот од гребаници на задната страна е намален на речиси нула. Понатаму, со минимизирање на површинските дефекти, Silicon Wafer Boat директно го подобрува квалитетот на решетката и ја зголемува вкупната стапка на квалификација на обработените наполитанки. За полупроводничките фабрики кои сакаат да ги подобрат приносите со максимална контрола на квалитетот, оваа состојба на перформанси го прави силиконскиот брод привлечна опција.

Силиконот нуди добра стабилност и механичка сила при високи температури, овозможувајќи му на бродот да служи сигурно за време на повторените циклуси на печката. Материјалот се спротивставува на искривување за време на циклусите на загревање и ладење, и на тој начин одржува прецизно поставување и толеранција на позиционирање дури и при брзи циклуси на печката. Оваа термичка робусност обезбедува доверливи резултати од процесот кои се доволно конзистентни за производство со голем обем со минимални варијации помеѓу патувањата. Силиконскиот брод со нафора е конструиран со висока димензионална прецизност за да се обезбеди постојано позиционирање и поставување на нафора. Бродот е направен со помош на напредна обработка и полирање за да се создадат мазни површини, блиска геометрија и тесни толеранции.