Како професионално производство, би сакале да ви обезбедиме полупроводнички компоненти. Semicorex е ваш партнер за подобрување во полупроводничката обработка. Нашите премази од силициум карбид се густи, високи температури и хемиски отпорни, кои често се користат во целиот циклус на производство на полупроводници, вклучително и обработка на полупроводнички нафора и нафора и производство на полупроводници.
Компонентите обложени со SiC со висока чистота се клучни за процесите во полупроводниците. Нашата понуда се движи од графитни потрошни материјали за жешки зони за растење на кристали (грејачи, сензори за садници, изолација), до високопрецизни графитни компоненти за опрема за обработка на нафора, како што се графитни сенцептори обложени со силициум карбид за Epitaxy или MOCVD.
Предности за полупроводнички процеси
Фазите на таложење на тенок филм, како што се епитаксијата или MOCVD, или обработката на обланда, како што е офорт или јонски имплант, мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење. Semicorex обезбедува графитна конструкција обложена со силициум карбид (SiC) со висока чистота, обезбедува супериорна отпорност на топлина и издржлива хемиска отпорност, дури и термичка униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи.
Капаци на комората â
Капаците на комората што се користат за раст на кристали и обработка на обланда мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење.
Краен ефектор â
Крајниот ефектор е раката на роботот која ги движи полупроводничките наполитанки помеѓу позициите во опремата за обработка на нафора и носачите.
Влезни прстени â
Влезен прстен за гас обложен со SiC со опрема MOCVD Растот на соединението има висока отпорност на топлина и корозија, што има голема стабилност во екстремна средина.
Фокус прстен â
Semicorex го снабдува Фокусниот прстен обложен со силикон карбид е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Чак за нафора â
Семикорекс ултра рамните керамички вакуумски нафора се обложени со висока чистота SiC кои се користат во процесот на ракување со нафора.
Семикорекс процесната цевка за дифузни печки е специјализирана компонента што се користи во производството на полупроводнички уреди. Тој е дизајниран да обезбеди контролирана средина за процесите на дифузија, каде што нечистотиите се внесуваат во полупроводничките наполитанки за да се променат нивните електрични својства. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеSiC Process Tube е реактор во облик на цевка за термичка обработка за обработка на нафора. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеТушот Semicorex CVD-SiC обезбедува издржливост, одлично термичко управување и отпорност на хемиска деградација, што го прави соодветен избор за тешки CVD процеси во полупроводничката индустрија. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеВо плазма апарат за офорт и хемиско таложење на пареа (CVD) на материјали на наполитанки, процесните гасови се доставуваат во процесната комора преку графитна туш-глава обложена со CVD SiC. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеКонзолно лопатка со силициум карбид Semicorex е специјализирана компонента што се користи во печки за различни апликации за термичка обработка. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеГолема сила на полнење на нафора, силициум карбид SiC керамички конзолен лопатка е погодна за роботски систем за автоматско полнење и ракување бидејќи има стабилни перформанси, недеформирање при висока температура и голема сила на полнење на нафора. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барање