Како професионално производство, би сакале да ви обезбедиме полупроводнички компоненти. Semicorex е ваш партнер за подобрување во полупроводничката обработка. Нашите премази од силициум карбид се густи, високи температури и хемиски отпорни, кои често се користат во целиот циклус на производство на полупроводници, вклучително и обработка на полупроводнички нафора и нафора и производство на полупроводници.
Компонентите обложени со SiC со висока чистота се клучни за процесите во полупроводниците. Нашата понуда се движи од графитни потрошни материјали за жешки зони за растење на кристали (грејачи, сензори за садници, изолација), до високопрецизни графитни компоненти за опрема за обработка на нафора, како што се графитни сенцептори обложени со силициум карбид за Epitaxy или MOCVD.
Предности за полупроводнички процеси
Фазите на таложење на тенок филм, како што се епитаксија или MOCVD, или обработка на обланда, како што е офорт или јонски имплант, мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење. Semicorex обезбедува графитна конструкција обложена со силициум карбид (SiC) со висока чистота, обезбедува супериорна отпорност на топлина и издржлива хемиска отпорност, дури и термичка униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи.
Капаци на комората →
Капаците на комората што се користат за раст на кристали и обработка на обланда мора да издржат високи температури и грубо хемиско чистење.
Краен ефектор →
Крајниот ефектор е раката на роботот која ги движи полупроводничките наполитанки помеѓу позициите во опремата за обработка на нафора и носачите.
Влезни прстени →
Влезен прстен за гас обложен со SiC со опрема MOCVD Растот на соединението има висока отпорност на топлина и корозија, што има голема стабилност во екстремна средина.
Фокус прстен →
Semicorex го снабдува Фокусниот прстен обложен со силикон карбид е навистина стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење.
Чак за нафора →
Семикорекс ултра рамните керамички вакуумски нафора се обложени со висока чистота SiC кои се користат во процесот на ракување со нафора.
Повик на порозни алуминиумски чакови се микропорозни вакуумски тела на црна алумина со 35-40% порозност, дизајнирани да обезбедат униформа вшмукување и безбедно ракување со нафора во производството на полупроводници. Изборот на Semicorex значи сигурен керамички инженеринг, супериорен квалитет на материјалот и конзистентни перформанси што го заштитуваат приносот и стабилноста на обработката.*
Прочитај повеќеИспрати барањеВакуумските чакови на Semicorex AL2O3 се микропорозни керамички апсорпциски тела направени од црна алумина со порозност од 35-40%, специјално дизајнирани за ракување со нафта во апликации за полупроводници. Изборот на Semicorex значи да имате корист од напредната керамичка технологија, прецизно инженерство и сигурен квалитет на производот што обезбедуваат стабилни перформанси во барањето околини за чистење простории.*
Прочитај повеќеИспрати барањеКерамичката рака на Alumine Semicorex е роботска компонента со висока чистота дизајнирана за прецизно и ракување со нафта без загадување при производство на полупроводници. Изборот на Semicorex обезбедува не само напреден квалитет на керамички материјал од алуминиум, туку и прецизно изработка што гарантира издржливост, чистота и сигурност во критичните околини на процеси.*
Прочитај повеќеИспрати барањеВлезните прстени на Semicorex SIC се компоненти на силиконски карбид со високи перформанси, дизајнирани за опрема за обработка на полупроводници, кои нудат исклучителна термичка стабилност, хемиска отпорност и прецизна машинска обработка. Избор на Semicorex значи да се добие пристап до сигурни, прилагодени и решенија без загадување до кои им се веруваат водечките производители на полупроводници.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SIC Arm е компонента со висока чистота силиконска карбид дизајнирана за прецизно ракување со нафора и позиционирање во производството на полупроводници. Изборот на Semicorex обезбедува неспоредлива сигурност на материјалот, хемиска отпорност и прецизно инженерство кои ги поддржуваат најсложените процеси на полупроводници.*
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex SIC прстите се прецизни инженерски компоненти направени од силиконски карбид со висока чистота, дизајнирани да настапат под екстремните барања за производство на полупроводници. Избор на Semicorex значи пристап до напредна експертиза за материјали, обработка на висока прецизност и сигурни решенија кои се веруваат во апликациите за критичко ракување со нафора.*
Прочитај повеќеИспрати барање